[实用新型]一种多晶硅铸锭炉用底板

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉用底板。

背景技术

多晶铸锭炉是将多晶硅料铸成多晶硅锭的专用设备，多晶硅铸锭炉一般包括坩埚、石墨护板、保温板以及承载坩埚和石墨护板的底板等结构。

其中，为了控制多晶硅铸锭炉的热场变化，一般都会在石墨护板周围固定保温板如保温硬毡，现有技术一般采用石墨螺栓将保温硬毡和护板进行固定连接或采用钼丝插入保温硬毡和护板的方法进行固定连接。当采用石墨螺栓固定连接护板和保温硬毡时，由于石墨螺栓韧性不足，在使用过程中易发生断裂。同时，这样固定连接的护板和保温板在拆装时需要花费较长时间，大大影响了多晶硅铸锭效率。当采用钼丝固定连接护板和保温硬毡时，保温硬毡经钼丝的多次插拔，导致保温硬毡损坏严重，因此生产过程中需定期更换新的保温硬毡，且钼丝经过多次高温煅烧后也需要频繁更换，同时钼丝在使用过程中容易断裂会导致保温硬毡也出现断裂现象。因此，采用上述两种固定连接方式都会导致铸锭工艺费时费力，铸锭成本较高的问题。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型旨在提供一种多晶硅铸锭炉用底板，采用该多晶硅铸锭炉用底板可以使保温板固定在护板四周且不会对保温板造成任何损坏，结构简单，且成本较低。

一种多晶硅铸锭炉用底板，包括底板本体和L形插件，所述底板本体包括用于承载坩埚和护板的上表面以及与所述上表面邻接的侧面，所述侧面开设有插槽；所述L形插件包括第一臂和第二臂，所述第一臂可拆卸插设于所述插槽内，所述第二臂正对所述护板，且与所述护板之间设置有间隙形成容置腔，所述容置腔用于容纳保温板，使所述保温板夹设于所述护板与所述第二臂之间。

优选地，所述保温板设置在所述上表面上。

优选地，所述保温板设置在所述第一臂上。

所述保温板设置在所述上表面上是指所述保温板设置在所述底板本体的上表面上，所述上表面用于承载所述保温板，没有与所述第一臂接触，此时所述L形插件的第二臂抵住所述保温板，以使所述保温板紧密固定在所述护板四周。

所述保温板设置在所述第一臂上是指所述保温板设置在所述第一臂上，没有设置所述底板本体的上表面上，所述第一臂用于承载所述保温板，以使所述保温板紧密固定在所述护板四周。

优选地，所述侧面包括第一凸起和第二凸起，所述第一凸起与所述第二凸起被所述插槽分隔，所述第一凸起的长度小于或等于所述第二凸起的长度。

优选地，所述第一凸起的长度与所述第二凸起的长度差小于等于2cm。

优选地，所述第一臂在垂直于所述侧面方向上的长度为2cm-7.5cm。

优选地，所述第二臂的高度为10cm-13cm。

优选地，所述插槽的深度为5.0cm-5.5cm。

优选地，所述底板本体包括四个侧面，每个所述侧面开设有至少2个所述插槽。

优选地，所述L形插件的材质为石墨。

多晶硅锭铸锭过程中，现有技术的底板仅仅用于承载坩埚和护板，本实用新型通过在底板的侧面设置插槽，通过将L形插件的第一臂可拆卸插设于所述插槽内、将第二臂正对所述护板，且与所述护板之间设置有间隙形成容置腔，以使保温板固定在所述容置腔中从而将保温板固定设置在护板四周。本实用新型提供的多晶硅铸锭炉用底板的结构简单，能适用于不同尺寸大小的保温板，而且使用过程中不会损坏保温板或护板，因此无备件损耗，成本较低。另外，不管在铸锭前组装底板还是铸锭后拆装底板操作都非常简单方便，使铸锭工艺更加简单，解决了现有技术采用石墨螺栓或钼丝固定保温板导致的铸锭工艺费时费力，铸锭成本较高的问题。

附图说明

图1为本实用新型多晶硅铸锭炉用底板的局部示意图(未放置保温板)；

图2为本实用新型多晶硅铸锭炉用底板的局部示意图；

图3为本实用新型L型插件的主视图(3A)和侧视图(3B)；

图4为本实用新型多晶硅铸锭炉用底板的剖视图；

图5为本实用新型图4的A-A剖视图；

图6为本实用新型多晶硅铸锭炉用底板的局部示意图；

图7为本实用新型多晶硅铸锭炉用底板的局部示意图；

图8为本实用新型多晶硅铸锭炉用底板的局部示意图。

具体实施方式

以下所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。