[实用新型]一种单晶炉除尘过滤器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉除尘过滤器。

背景技术

目前使用的单晶炉除尘器，内部过滤装置简单，构造是两层过滤，且过滤网固定方式为捆绑在支撑柱上，封闭效果差，同时在使用过程中很容易损坏，存在设计缺陷。这样就造成单晶炉在生产过程产生的部分挥发物(如一氧化硅等粉尘颗粒物)，直接进入真空泵油中，污染泵油，极大的缩短了真空泵油和真空泵的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种单晶炉除尘过滤器，它具有结构合理、除尘效果好等特点。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种单晶炉除尘过滤器，包括横向设置的筒形壳体，在筒形壳体的左上方径向设有进气管，在进气管内横向设有集尘板，集尘板距离筒形壳体中心的距离为筒形壳体的半径，在筒形壳体内设有滤芯，滤芯包括三层通过筒形支撑架固定的筒形过滤网，在筒形过滤网的一端设有圆形盲板，圆形盲板与筒形壳体的右侧开口端相适配，在筒形过滤网的另一端设有环形挡板；环形挡板中部设有中心支撑管滑配接入孔，在筒形壳体的左端固定连接环形盲板，环形盲板的内圆孔为向外扩张的喇叭口形，还包括左端为开口端中心支撑管，在靠近开口端的位置环中心支撑管外壁设有与环形盲板的喇叭口形内圆孔相适配的锥形密封面，中心支撑管通过环形盲板的内圆孔及滤芯的环形挡板的中心支撑管滑配接入孔插入滤芯内，中心支撑管的锥形密封面与环形盲板的喇叭口形内圆孔孔壁密封连接，在中心支撑管与环形挡板的中心支撑管滑配接入孔连接处的右端管壁均布吸气孔。

本实用新型进一步改进在于：

滤芯的圆形盲板外端面中部设有拉手。

进气管与中心支撑管的内径相同，均为筒形壳体内径的三分之一。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

本实用新型包括横向设置的筒形壳体，在筒形壳体的左上方径向设有进气管，在进气管内横向设有集尘板，集尘板距离筒形壳体中心的距离为筒形壳体的半径，使部分挥发物形成颗粒状固体，被集尘板吸附脱落在除尘器内，起到一定的除尘作用；在筒形壳体内设有滤芯，滤芯包括三层通过筒形支撑架固定的筒形过滤网，滤芯设计为三层过滤，过滤效果增强，且过滤网固定牢固；还包括左端为开口端中心支撑管，在靠近开口端的位置环中心支撑管外壁设有与环形盲板的喇叭口形内圆孔相适配的锥形密封面，中心支撑管通过环形盲板的内圆孔及滤芯的环形挡板的中心支撑管滑配接入孔插入滤芯内，中心支撑管的锥形密封面与环形盲板的喇叭口形内圆孔孔壁密封连接，中心支撑管与环形盲板配合紧密，减少污染泄漏；在中心支撑管与环形挡板的中心支撑管滑配接入孔连接处的右端管壁均布吸气孔。真空泵所产生的吸力通过中心支撑管壁均布的吸气孔将气流均匀引出中心支撑管开口端(即排气孔)，进气管所进的含粉尘的空气均匀通过滤芯过滤网，提高过滤效果，本实用新型通过提高粉尘过滤效果，避免粉尘对泵油污染，延长真空泵油及真空泵使用寿命；消除事故隐患；降低生产成本，避免污染环境和资源浪费。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中滤芯的结构示意图。

在附图中：1、筒形壳体；2、进气管；3、集尘板；4、筒形过滤网；5、圆形盲板；6、环形挡板；7、环形盲板；8、中心支撑管；9、中心支撑管滑配接入孔；10、拉手；11、吸气孔。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步详细说明。

由图1-2所示的实施例可知，本实施例包括横向设置的筒形壳体1，在筒形壳体1的左上方径向设有进气管2，在进气管2内横向设有集尘板3，集尘板3距离筒形壳体1中心的距离为筒形壳体1的半径，在筒形壳体1内设有滤芯，滤芯包括三层通过筒形支撑架固定的筒形过滤网4，在筒形过滤网4的一端设有圆形盲板5，圆形盲板5与筒形壳体1的右侧开口端相适配，在筒形过滤网4的另一端设有环形挡板6；环形挡板6中部设有中心支撑管滑配接入孔9，在筒形壳体1的左端固定连接环形盲板7，环形盲板7的内圆孔为向外扩张的喇叭口形，还包括左端为开口端中心支撑管8，在靠近开口端的位置环中心支撑管8外壁设有与环形盲板7的喇叭口形内圆孔相适配的锥形密封面，中心支撑管8通过环形盲板7的内圆孔及滤芯的环形挡板6的中心支撑管滑配接入孔9插入滤芯内，中心支撑管8的锥形密封面与环形盲板7的喇叭口形内圆孔孔壁密封连接，在中心支撑管8与环形挡板6的中心支撑管滑配接入孔9连接处的右端管壁均布吸气孔11。

滤芯的圆形盲板5外端面中部设有拉手10。

进气管2与中心支撑管8的内径相同，均为筒形壳体1内径的三分之一。