[实用新型]一种高纯度乙硅烷钢瓶清洗装置

权利要求书

1.一种高纯度乙硅烷钢瓶清洗装置，其特征在于，所述高纯度乙硅烷钢瓶清洗装置包括有清洗底座，清洗底座之上设置有用于固定钢瓶的环形支架；所述清洗底座之中，环形支架的轴线与清洗底座上端面的相交位置设置有清洗端头；

所述清洗端头之中设置有沿其轴线位置进行延伸的清洗管道，其连通至设置在清洗底座内部的清洗液槽，清洗管道的端部设置有蒸汽喷枪；所述清洗端头之中设置有至少一个检测管道，其连通至设置在清洗底座内部的检测室；所述清洗底座的侧端面之中，检测室的对应位置设置采用透明材质制成。

2.按照权利要求1所述的高纯度乙硅烷钢瓶清洗装置，其特征在于，所述清洗管道的端部设置有多个清洗端口，其包括有沿竖直方向延伸的第一清洗端口，以及多个倾斜向上延伸的第二清洗端口，多个第二清洗端口关于清洗管道的轴线成旋转对称。

3.按照权利要求1或2所述的高纯度乙硅烷钢瓶清洗装置，其特征在于，所述环形支架包括有在竖直方向上由上之下依次分布的第一环形支架与第二环形支架，其中，第一环形支架的内壁之上设置有橡胶防滑层，第二环形支架的内侧直径在竖直方向上由上至下逐渐减小。

4.按照权利要求3所述的高纯度乙硅烷钢瓶清洗装置，其特征在于，清洗端头之中设置有至少三个检测管道，其关于清洗端头的轴线成旋转对称；每一个检测管道的端部均设置有朝向检测管道内部进行延伸的负压管。