[实用新型]扩束器

权利要求书

1.一种扩束器，包括：

部分反射器，在预定的多个波长中具有至少30％的平均光反射率；

反射式偏振器，布置成邻近所述部分反射器并且与所述部分反射器间隔开，所述反射式偏振器关于两个正交轴弯曲；以及

四分之一波延迟器，布置在所述反射式偏振器和所述部分反射器之间，

其中所述扩束器适于接收入射在所述部分反射器上的输入光束并且透射扩束的输出光束。

2.根据权利要求1所述的扩束器，其中所述反射式偏振器上的至少一个第一位置距所述反射式偏振器的光轴具有径向距离r1，并且距在所述反射式偏振器的顶点处垂直于所述光轴的平面具有位移s1，s1/r1是至少0.1。

3.根据权利要求2所述的扩束器，其中所述反射式偏振器包括至少一层，所述至少一层在所述至少一层上的离开所述光轴的至少一个第一位置处是基本上光学双轴的，并且在离开所述光轴的至少一个第二位置处是基本上光学单轴的。

4.根据权利要求1所述的扩束器，其中所述反射式偏振器是热成形的APF。

5.根据权利要求1所述的扩束器，其中所述反射式偏振器是关于所述反射式偏振器的光轴旋转对称的热成形多层反射式偏振器。

6.根据权利要求1所述的扩束器，其中所述反射式偏振器是线栅偏振器。

7.根据权利要求1所述的扩束器，进一步包括：

第一光学堆叠，所述第一光学堆叠包括第一透镜和所述部分反射器；以及

第二光学堆叠，所述第二光学堆叠包括第二透镜和所述反射式偏振器。

8.根据权利要求1所述的扩束器，进一步包括一体光学堆叠，所述一体光学堆叠包括第一光学透镜、所述反射式偏振器、所述部分反射器和所述四分之一波延迟器。

9.根据权利要求8所述的扩束器，其中所述一体光学堆叠进一步包括邻近所述第一光学透镜的第二光学透镜、布置在所述第一光学透镜和所述第二光学透镜之间的所述四分之一波延迟器、布置在所述第一光学透镜的与所述第二光学透镜相对的主表面上的所述部分反射器、以及布置在所述第二光学透镜的与所述第一光学透镜相对的主表面上的所述反射式偏振器。

10.一种投影系统，包括光源、布置成从所述光源接收光并且发射图案化的光的图像形成装置、以及根据权利要求1所述的扩束器，所述扩束器被布置成使得来自所述图像形成装置的图案化的光入射在所述部分反射器上。

11.一种投影系统，包括光源、布置成从所述光源接收光并且发射会聚的图案化的光的图像形成装置、以及扩束器，所述扩束器包括：

部分反射器，在预定的多个波长中具有至少30％的平均光反射率；

反射式偏振器，布置成邻近所述部分反射器并且与所述部分反射器间隔开，所述反射式偏振器关于两个正交轴弯曲；以及

四分之一波延迟器，布置在所述反射式偏振器和所述部分反射器之间，

其中所述扩束器被布置成使得来自所述图像形成装置的会聚的图案化的光入射在所述部分反射器上，所述扩束器透射发散的图案化的光。

12.根据权利要求11所述的投影系统，其中所述反射式偏振器上的至少一个第一位置距所述反射式偏振器的光轴具有径向距离r1，并且距在所述反射式偏振器的顶点处垂直于所述光轴的平面具有位移s1，s1/r1是至少0.1。

13.根据权利要求12所述的投影系统，其中所述反射式偏振器包括至少一层，所述至少一层在所述至少一层上的离开所述光轴的至少一个第一位置处是基本上光学双轴的，并且在离开所述光轴的至少一个第二位置处是基本上光学单轴的。

14.根据权利要求11所述的投影系统，其中所述反射式偏振器是热成形的APF。

15.根据权利要求11所述的投影系统，其中所述反射式偏振器是线栅偏振器。

16.根据权利要求11所述的投影系统，其中所述扩束器进一步包括：

第一光学堆叠，所述第一光学堆叠包括第一透镜和所述部分反射器；以及

第二光学堆叠，所述第二光学堆叠包括第二透镜和所述反射式偏振器。