[实用新型]新型光臂放大式二维线性测头

权利要求书

1.一种新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，包括：

两个激光源，用于发射两条激光束，即激光源一(11)发射激光束一(21)，激光源二(12)发射激光束二(22)；

测头基座(4)，包括至少两个反射面，用于反射每个所述激光源发射的激光束，所述测头基座上设有用于检测的测杆(6)和测球(7)；

两个光电探测器，即光电探测器一(31)、光电探测器二(32)，分别用于接收所述测头基座(4)上反射面反射的激光束一(21)、激光束二(22)；

平移部件，用于使所述测头基座(4)做直线运动，或用于使所述测头基座(4)与光电探测器共同做直线运动，以改变所述测头基座(4)反射面上的所述激光束一(21)、激光束二(22)的反射点位置；

回复部件(5)，用于将所述测头基座(4)回复至初始位置，或将所述测头基座(4)与光电探测器(3)共同回复至初始位置；

处理系统，根据所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)上分别接收到的激光束一(21)，激光束二(22)反射位置变化值，计算得到所述测球(7)的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，所述平移部件用于平移所述测头基座(4)。

3.根据权利要求2所述的新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)的反射面相互垂直设置，所述平移部件用于将所述测头基座(4)沿相对所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)的垂直平面做运动。

4.根据权利要求3所述的新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，所述平移部件包括两个相互平行的导向槽一(81)，所述导向槽一(81)之间滑动设有至少一个导向槽二(82)，所述导向槽一(81)与导向槽二(82)相互垂直，所述导向槽二(82)上滑动连接所述测头基座(4)。

5.根据权利要求3所述的新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，还包括壳体(9)，所述激光源一(11)、激光源二(12)固定在所述壳体(9)内，所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)连接在所述壳体内，所述回复部件(5)为弹簧或簧片，其中一端连接在所述壳体(9)上、另一端连接在所述测头基座(4)上。

6.根据权利要求5所述的新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，至少一个所述光电探测器旋转连接在所述壳体(9)上，每个所述光电探测器在位于对应所述激光束的入射光、反射光构成的平面上进行旋转。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)为位置敏感探测器。

8.根据权利要求7所述的新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)均为一维位置敏感探测器。

9.根据权利要求7所述的新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，所述测头基座(4)为梯形台体，所述测头基座(4)包括位于梯形台体侧面的两个反射面，即所述反射面一(41)、反射面二(42)。

10.根据权利要求7所述的新型光臂放大式二维线性测头，其特征在于，所述测头基座(4)的形状为长方体，该长方体可水平面上移动，该长方体沿竖直方向相互垂直的两个侧面上设置有反射面一(41)、反射面二(42)，所述激光束一(21)、激光束二(22)分别倾斜入射到所述反射面一(41)、反射面二(42)上。