[实用新型]一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置

说明书

技术领域

本实用新型属于光伏技术领域，特别是一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置。

背景技术

磁控溅射已发展为工业镀膜生产中最主要的技术之一。在磁控溅射镀膜过程中，从靶材溅射出来的高能粒子除了向基片凝聚、形成薄膜之外，不可避免的会有一部分沉积到阴极靶材四周及腔室遮罩或其它部件上。随着溅射镀膜的反复进行，溅射室腔体表面的沉积物越来越厚，进而导致不得不花费大量的人力物力清除。

目前行业内的遮挡装置设计结构偏于繁琐、重量过重，成本高，镀膜效果不好等问题，生产过程中很容易出现遮挡装置短路，产生异常放电，导致产品报废。

实用新型内容

本实用新型针对上述现有技术的不足，在阴极靶材及沉积基片之间设计一种遮挡装置，在溅射镀膜过程中，该遮挡装置能够将阴极靶材和沉积基片之间的空间区域及靶材与阴极腔体封闭起来，并有效阻断沉积粒子向溅射室内壁及靶材四壁沉积，降低溅射室的污染，且阳极腔体不需要匹配的辅助挡板。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置，包括侧挡板和底板，侧挡板由两块侧板拼合形成围挡，该围挡的两端位于拐角处设置有1/4圆弧状的围板结构，所述侧挡板有两块，两块侧挡板围合形成一侧面敞口的长方体，底板上具有一个半圆形缺口，所述底板有两块，底板卡设于两块侧挡板之间，底板与侧挡板的两个1/4圆弧围合形成完整的圆孔。

该设计打破传统的设计理念，只需阴极靶材四周安装遮挡装置，不需要在阳极区域另行设置遮挡板，遮挡板的使用数量减少，可缩短维护时间，降低维护人员负荷，降低遮挡板与腔体阴阳极短路风险，从而提高溅射效率。

本实用新型遮挡装置与阴极腔体壁的接触方式为点接触，打破传统的遮挡板直接与阴极腔体壁面接触。接触面越多，随着溅射发生，遮挡板表层会被不断溅镀膜，随之遮挡板温度升高，产生形变，导致与腔体壁发生短路风险增加。遮挡板数量增加，相应也会提高短路风险。

本实用新型设计阴极遮挡装置结构设计与阴极腔体壁不在一个水平面。其中侧挡板开口大小及角度匹配待镀物衬底溅镀膜范围，衬底附近腔体仅有很小一部分被溅镀膜，设备维护时，及时清理即可。

优通过控制侧挡板的开口位置、角度，限制成膜范围，获得理想的膜层质量。选地，所述侧挡板由两块侧板垂直拼合形成L形围挡。

优选所述CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置的基材采用铝5052材质，或其它材质（具有质量轻、硬度高、耐酸碱腐蚀），表面进行喷砂或熔射处理。

所述侧挡板的外侧壁上安装有冷却管。冷却管用铜管或其它管材冷却水管固定在侧挡板背面，达到冷却作用。

本实用新型采用上述结构后，具有如下技术效果：

本实用新型所述遮挡装置设计结构简单，使用轻便，可缩短维护时间，降低维护人员负荷，有效将溅射腔室内污染降到最低，降低短路风险，可提高制品膜层质量及溅射效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1显示了本实用新型所述CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置的整体结构；

图2显示了本实用新型所述侧挡板的结构；

图3显示了本实用新型所述侧挡板上安装冷却管的结构；

图4显示了本实用新型所述CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置的使用状态图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的和技术方案更加清楚，下面将结合本实用新型实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置，包括侧挡板1、底板2、冷却管3等技术特征。

实施例1