[实用新型]一种用于扩散炉的气源柜机架

说明书

技术领域

本实用新型涉及扩散炉气源柜设备技术领域，更具体地说是涉及一种用于扩散炉的气源柜机架。

背景技术

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同电特性区域，虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂，但是热扩散仍是最主要、最普通的掺杂方法。现有技术中的扩散炉气源柜设备目前主要存在以下不足和缺陷：一是恒温槽里源瓶酸性物质和石英器件里的尾气泄漏后容易腐蚀电器元器件，减少电器元器件的使用寿命；二是恒温槽里源瓶的温度容易受炉尾温度和环境温度的影响。从而影响工艺的稳定性。

实用新型内容

为解决上述现有技术中的问题，本实用新型提出一种用于扩散炉的气源柜机架，将气源柜机架进行分区设计可以使电器元器件免受腐蚀，增加电器元器件的使用寿命。

本实用新型的技术方案为：一种用于扩散炉的气源柜机架，包括：

恒温槽区，其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部；

气路区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区紧邻，气路区通过封板与恒温槽区隔开；

电器元器件区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区通过封板与恒温槽区、气路区隔开；

电源区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区相邻；

石英器件区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，石英器件区通过封板与气路区、电器元器件区、电源区隔开。

所述恒温槽区设有多个恒温槽，每个恒温槽是一个独立的空间；恒温槽区的背面炉尾设有抽风管。

所述石英器件区炉尾设有抽风管。

本实用新型的用于扩散炉的气源柜机架将气源柜机架进行分区设计，分区之间都是彼此隔开的，从而使得电器元器件区不会受到腐蚀，增加了电器元器件的使用寿命；在恒温槽区的背面炉尾设有抽风管，可以使恒温槽源瓶的温度免受炉尾温度和环境温度的影响，增加工艺的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型用于扩散炉的气源柜机架从前面看的示意图。

图2为本实用新型用于扩散炉的气源柜机架从后面看的示意图。

具体实施方式

如图1和图2所示，一种用于扩散炉的气源柜机架，包括恒温槽区1、气路区2、电器元器件区3、电源区4和石英器件区5。

恒温槽区1设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部，恒温槽区1设有多个恒温槽，每个恒温槽是一个独立的空间；另外，恒温槽区1的背面炉尾设有抽风管6，可以及时抽掉炉尾与恒温槽区的热量。

气路区2设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，气路区2紧邻恒温槽区1设置，气路区2通过封板与恒温槽区1隔开。

电器元器件区3设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区3通过封板与恒温槽区1、气路区2隔开；

电源区4设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区3相邻；电源区4为独立的箱子，防止触电。

石英器件区5设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，石英器件区5通过隔板与气路区2、电器元器件区3、电源区4隔开；石英器件区5炉尾设有抽风管，抽风管可以及时抽走炉尾的热量。

本实用新型的用于扩散炉的气源柜机架进行分区设计，使每个区域都是独立的空间，可以保证电器元器件免受酸性物质的腐蚀，增加其使用寿命；恒温槽源瓶的温度免受炉尾温度和环境温度的影响，增加工艺的稳定性。

以上的具体实施例仅用以举例说明本实用新型的构思，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。