[实用新型]一种循环水式真空泵水冷装置

权利要求书

1.一种循环水式真空泵水冷装置，包括真空泵，所述真空泵通过管路与反应釜(1)出气口连接，所述真空泵还与水箱(2)、水泵(3)连接形成一个闭合的循环回路，其特征在于，所述真空泵与水泵(3)之间还设有冷凝器(5)，且所述真空泵通过管路还与废气处理系统(4)相连。

2.根据权利要求1所述的循环水式真空泵水冷装置，其特征在于，所述真空泵与反应釜(1)之间还连接有缓冲泵。

3.根据权利要求2所述的循环水式真空泵水冷装置，其特征在于，所述真空泵包括第一真空泵(61)、第二真空泵(62)及第三真空泵(63)，所述缓冲泵包括第一缓冲泵(71)、第二缓冲泵(72)、第三缓冲泵(73)，且所述第一真空泵(61)、第二真空泵(62)及第三真空泵(63)分别与第一缓冲泵(71)、第二缓冲泵(72)、第三缓冲泵(73)相连。

4.根据权利要求1所述的循环水式真空泵水冷装置，其特征在于，所述水箱(2)还连接有补水系统(8)。

5.根据权利要求4所述的循环水式真空泵水冷装置，其特征在于，所述真空泵、水箱(2)、水泵(3)及补水系统(8)连接的管路上还设置有电磁阀(9)。

6.根据权利要求5所述的真空泵循环水冷却装置，其特征在于，所述水箱(2)内还设置有水位传感器。