[实用新型]具主动感测回馈功能的离子产生装置

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种离子产生装置，特别是指一种具主动感测回馈功能的离子产生装置。

背景技术

半导体的相关电子产品需求量的日益趋增，消费者对电子产品演进为追求轻、薄、短、小的诉求，且电子元件不断的缩小尺寸，相对于半导体晶片的制程也随之推陈出新，研发出突破现有的技术，以符合市场上电子产品的需求。

再者，半导体产品的制造成本与附加价值均属高价，且产品的良率将为影响半导体晶片与相关电子商品成本的关键，所以半导体晶片制造过程中的每个阶段、每一个半导体生产设备，都有着层层的测试及检验以为最终的电子产品的良率作把关。

当半导体制程越来越微型化，且制程进入22纳米甚至20纳米以下，今后半导体产品将更容易受环境中的静电电荷影响而毁坏，所谓静电是指由物体接触与分离时负电离子的移动所造成物体偏正电或是负电的效应，使该体积小的半导体产品，因静电放电（ElectroStaticDischarge，ESD）被打穿、烧毁、劣化、破坏等等情况所毁坏而失效，因此静电防护成为半导体产业需要克服的课题之一。

参阅图1为现有的中国台湾实用新型第I359235号一种机器设备的离子风扇检知装置，该机器设备设有控制各装置作动的中央处理器23，并于外罩的内部设有至少一用以消除静电的离子风扇24，该离子风扇24是连接有一检知装置25，该检知装置25内设有一微处理单元254及多个侦测单元251，该多个侦测单元251并以线路连接该离子风扇24，而可将该离子风扇24的侦测讯号传输至该微处理单元254，该微处理单元254进行比对后将侦测结果经由该中央处理器23传输至该显示单元231显示侦测结果。

现有所揭露的离子风扇检知装置虽可使工作人员便利于机器设备的外部，立即获知该离子风扇的异常状态，作相关应变处理以排除异常，但却无法积极地达到主动控制该离子风扇24所输出的正、负离子数量，将使得半导体的制程被迫中断，影响生产时间。

由于静电不会平白无故消失在环境之中，只要有静电产生一定会造成破坏，且往往一次的静电破坏所损失的产值往往是数百万或数千万，为了提高产品的可靠度及避免静电破坏造成的危害，现有制程中主动排除静电的装置，实属有必要再加以改进。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的，即在提供一种具主动感测回馈功能的离子产生装置，包含一主机单元、一感应单元，及一离子产生单元。

该主机单元包括一界定出一容置空间的壳体，及一设置于该容置空间中的控制器，该感应单元与该主机单元电性连接，并包括有一用以侦测离子量的侦测片，该离子产生单元与该主机单元电性连接，并包括有一电路板、一气流产生器、一与该电路板电性连接的正离子产生电路，及一与该电路板电性连接的负离子产生电路，该正离子产生电路与该负离子产生电路的电路末端皆装设有多个靠近该气流产生器的放电针；

该侦测片会将所侦测到的离子量发出一感应讯号并回传至该控制器，该主机单元依据该感应单元所侦测到的离子量发出一控制讯号给该离子产生单元，以分别调节该离子产生单元中的正离子产生电路与该负离子产生电路所产生的正负离子量，当该感应单元所侦测的正、负离子量不平衡且超出一范围时，该控制器会控制该正离子产生电路与该负离子产生电路释放出对应的正、负离子数量，以中和静电电荷。

作为优选技术方案，该主机单元更包括一用以显示该感应单元所侦测到的离子量的显示器，其设置于该壳体上并与该控制器电性连接。

作为优选技术方案，该主机单元更包括一设置于该容置空间中并与该控制器电性连接的警报电路，该警报电路具有一设置于该壳体上的警报电压设定界面，及多个设置于该壳体上的按键，该多个按键是用以供一使用者设定所欲监测的离子量，当该感应单元所侦测到的离子量大于该警报电压设定界面所设定的数值，则该警报电路发出警报。

作为优选技术方案，该警报电路为一可发出警示音响的蜂鸣器。

作为优选技术方案，该警报电路为一可发出光源的发光器。

作为优选技术方案，该主机单元更包括一设置于该容置空间中并与该控制器电性连接的存储器电路，该感应单元所侦测的离子量储存于该存储器电路内。

作为优选技术方案，上述具主动感测回馈功能的离子产生装置还包含一设备控制电路单元，该设备控制电路单元与该主机单元的控制器电性连接，并包括一停机电压设定界面，当该感应单元所侦测的离子量达到该停机电压设定界面所预设的数值时，该设备控制电路单元会向外发出一停机讯号，且同时发出一讯号通知该控制器关闭该离子产生单元，以停止继续供应正、负离子。