[实用新型]小型化可变陶瓷真空电容器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种可变陶瓷真空电容器，尤其涉及一种小型化可变陶瓷真空电容器。

背景技术

如图1所示，可变陶瓷真空电容器主要由密封在陶瓷绝缘外壳1中的电极组与实现容量调节的转动系统两部分组成。电极组2是由两组同心的圆筒形电极环焊接在电极盘上组成，转动系统包括拉杆6、导套7、转动螺杆4与螺母5以及支撑转动螺杆用的支撑套筒3。目前，传统的可变陶瓷真空电容器的支撑套筒一般放置在安装板或安装环的外部，中间穿过转动螺杆，并在支撑套筒与转动螺杆之间放置平面球轴承8，通过转动螺杆的转动，拉动内部拉杆，带动电极组运动，从而实现容量的调节。但由于其套筒放置在安装板或安装环的外部，增加了产品的总体高度。随着可变陶瓷真空电容器在半导体制造设备中的推广运用，对可变电容器小型化提出了更高的要求。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种小型化可变陶瓷真空电容器，不仅能够将可变陶瓷真空电容器做的更小，而且降低了制造成本。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种小型化可变陶瓷真空电容器，包括密封的陶瓷外壳、设于该陶瓷外壳内的电极组以及用于调节所述电极组容量的传动系统，所述传动系统包括支撑套筒、转动螺杆、螺母、拉杆和导套，所述导套固定设置于所述陶瓷外壳的上端部内，所述支撑套筒固定于该导套的上端口内；所述转动螺杆的上端能够转动定位于该支撑套筒内，该转动螺杆的下端容置于所述导套内且其外周通过螺纹啮合套设所述螺母；所述拉杆的上端与该螺母固连并活动容置于所述导套内，该拉杆下端与所述电极组的可调部分连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑套筒为环状结构。

作为本实用新型的进一步改进，所述转动螺杆的上端通过轴承能够转动固定于所述支撑套筒内。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑套筒内侧面设有与所述轴承外侧面匹配的台阶。

作为本实用新型的进一步改进，所述转动螺杆靠近所述轴承的上、下侧面位置处分别设有上止挡圈和下止挡圈，所述轴承的下端面与该下止挡圈之间设有下弹性挡圈；所述轴承的上端面与该上止挡圈之间设有弹性垫圈，该弹性垫圈上侧面上设有上弹性挡圈，该上弹性垫圈的外周卡合于所述导套上端口的内侧面上。

作为本实用新型的进一步改进，所述螺母设置于导套内部。

本实用新型的有益效果是：该小型化可变陶瓷真空电容器采用环形支撑套筒，并内置于导套的上端口内，体积大大改小，在保证产品质量的同时，实现缩短产品总高度约20％以上，同时降低产品的制造成本10％以上，满足了用户需求。同时，该小型化可变陶瓷真空电容器在轴承和支撑套筒的两侧，采用弹性挡圈与弹性垫圈固定轴承和支撑套筒，当转动螺杆逆时针旋转，即使超过规定量程，也会被弹性垫圈挡住而无法旋出，具有防止轴承与转动螺杆脱落的限位作用，因此结构更加安全可靠。

附图说明

图1为现有可变陶瓷真空电容器结构示意图；

图2为本实用新型结构示意图；

图3为图2中A部放大结构示意图。

结合附图，作以下说明：

1——陶瓷外壳2——电极组

3——支撑套筒4——转动螺杆

5——螺母6——拉杆

7——导套8——轴承

10——弹性垫圈31——台阶

41——上止挡圈42——下止挡圈

91——上弹性挡圈92——下弹性挡圈

具体实施方式

以下结合附图，对本实用新型的一个较佳实施例作详细说明。但本实用新型的保护范围不限于下述实施例，即但凡以本实用新型申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型专利涵盖范围之内。

参见图1-3，一种小型化可变陶瓷真空电容器，包括密封的陶瓷外壳1、设于该陶瓷外壳内的电极组2以及用于调节所述电极组容量的传动系统，该传动系统包括支撑套筒3、转动螺杆4、螺母5、拉杆6和导套7，所述导套固定设置于所述陶瓷外壳的上端部内，所述支撑套筒固定于该导套的上端口内；所述转动螺杆的上端能够转动定位于该支撑套筒内，该转动螺杆的下端容置于所述导套内且其外周通过螺纹啮合套设所述螺母5；所述拉杆的上端与该螺母固连并活动容置于所述导套内，该拉杆下端与所述电极组的可调部分连接。

其中，所述支撑套筒为环状结构。所述转动螺杆的上端通过轴承8能够转动固定于所述支撑套筒内。所述支撑套筒内侧面设有与所述轴承外侧面匹配的台阶31。所述螺母设置于导套内部。