[实用新型]一种专用于晶片的微米级精度测量仪器有效
| 申请号： | 201520500904.0 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN204881578U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 陈时兴;舒靖文;宋衡;陈林 | 申请（专利权）人： | 嘉兴百盛光电有限公司;嘉兴海盛电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;G01B21/10;G01B21/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 314009 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 专用 晶片 微米 精度 测量 仪器 | ||
【权利要求书】：
1.一种专用于晶片的微米级精度测量仪器，其特征在于：包括基座(5)、设在基座(5)左端的千分表(1)、设在基座(5)右端与千分表(1)配合进行测量的千分尺(8)，所述千分尺(8)与千分表(1)的顶针轴线平行，所述基座(5)上设有一个用于放置晶片的基准面(7)，所述基准面(7)上设有3个平行设置的凹槽(4)，所述两个相邻的凹槽(4)组成一个与晶片接触的基准架(6)，所要测量的晶片底面与基准架(6)接触。
2.根据权利要求1所述的一种专用于晶片的微米级精度测量仪器，其特征在于：所述基座(5)与千分表(1)和千分尺(8)之间均设有一个安装座(2)，所述安装座(2)与基座(5)之间采用螺杆连接。
3.根据权利要求1所述的一种专用于晶片的微米级精度测量仪器，其特征在于：所述千分表(1)的顶端设有一个与晶片接触的圆台(3)。
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