[实用新型]一种可调节式的靶材等离子喷涂自吹积瘤装置有效

专利信息
申请号: 201520489730.2 申请日: 2015-07-09
公开(公告)号: CN204959021U 公开(公告)日: 2016-01-13
发明(设计)人: 石煜;罗永春;曾墩风 申请(专利权)人: 厦门映日新材料科技有限公司
主分类号: C23C4/134 分类号: C23C4/134
代理公司: 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 代理人: 方惠春
地址: 361000 福建省厦*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 调节 等离子 喷涂 自吹 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型一种旋转靶材生产过程中的在线高压自动吹积瘤装置,特别涉及一种可调节式的靶材等离子喷涂自吹积瘤装置。

背景技术

在真空等离子喷涂旋转靶材过程中,少量过熔粉末会凝结在喷咀上形成积瘤,不及时处理,积瘤会溅射到靶材上,使靶材出现大面积积瘤导致报废。目前,公知的处理积瘤的方式为:在发现喷咀处出现积瘤后,暂停等离子喷涂设备运行,采用人工手动方式去除喷咀上的积瘤。由于制造旋转靶材特别是大尺寸、高纯度的靶材周期较长,经常停机除积瘤不仅会大幅度提高了生产靶材的时间成本和人力成本,而且频繁暂停等离子喷涂作业会导致旋转靶材粉末的结合强度和致密性大幅度降低。

为解决上述技术问题,本申请人在先申请的实用新型专利申请号:201420243774.2中阐述的技术方案,其可以在不暂停等离子喷涂作业情况下,自动吹除在等离子喷涂过程喷咀上产生的积瘤,大幅度降低了喷涂大尺寸、高纯度旋转靶材的时间和人力成本,间接提高了旋转靶材的结合强度和致密性。但该技术方案中所公开的靶材等离子喷涂自吹积瘤装置其结构固定,进而无法针对需求进行调节。

因此在现有靶材等离子喷涂自吹积瘤装置上,如何进一步完善、升级靶材等离子喷涂自吹积瘤装置的对不同需求的适应性,消除固定结构带来的种种不便是目前靶材等离子喷涂自吹积瘤装置中研发人员的重要课题之一。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种可调节式的靶材等离子喷涂自吹积瘤装置,消除固定结构带来适应性差、维修不便等技术问题。

为达到上述目的,本实用新型是通过以下技术方案实现的:

一种可调节式的靶材等离子喷涂自吹积瘤装置,该自吹积瘤装置包括位于喷涂罐外且依次利用气管连通的空气压缩机、减压阀、储气罐及脉冲电磁阀,及位于喷涂罐内的吹气架,所述吹气架与等离子喷嘴连接,所述吹气架包括至少三根吹气嘴,所述各吹气嘴可调节的设置在离子喷嘴上,各吹气嘴呈L形状,该吹气嘴一端为吹气端,且该吹气端位于等离子喷嘴前方并其令吹气方向与离子喷嘴的喷涂方向垂直。

进一步,所述各吹气嘴通过调节架锁固在离子喷嘴的侧壁上,而所述调节架上开设有与螺钉配合实现与离子喷嘴配合锁固的锁孔,该调节架上穿设有与吹气嘴相适配的定位孔,所述定位孔侧壁延伸形成相对设置的两调节耳,两调节耳上均穿设有调节孔,所述两调节孔内设置同一螺栓且该螺栓与螺母配合形成能对吹气嘴夹持力调节的结构,用于实现调节该吹气嘴吹气端相对于离子喷嘴的高度及角度。

进一步,所述相邻两吹气嘴设置在同一个调节架的两端处。

本实用新型在原有技术的基础上形成可调节的结构,令其适应度高、便于工作人员操作等优点。具体的说,所述空气压缩机通过送气管和减压阀与储气罐进气口连接,保证储气罐内充满气体并处于恒定高压状态,而储气罐出气口与脉冲电池阀进气口连接,脉冲电磁阀出气口与吹气架相连。在等离子喷涂作业过程中,喷枪将会根据旋转靶材的长度通过行走机构的传动进行往返水平运动,当等离子喷枪行走至正好超出旋转靶材两端的位置时,由等离子喷涂系统控制柜向脉冲电磁阀发出控制信号,实现对着等离子喷枪的喷嘴上面进行吹气,到喷涂靶材两端,脉冲开启,气流会对喷嘴上的积瘤进行清洁,可防止积瘤,进而有效防止因积瘤产生的靶材报废,进而在吹气架在使用及安装是需通过调节螺栓、螺母配合的紧度来调节调节在对各吹气嘴的夹持力度,在吹气嘴的调节时令两调节耳分离,进而工作人员可手动调节各吹气嘴吹气端相对于离子喷嘴的高度及角度,待调整完毕后在将螺母与螺栓锁紧,令两调节耳紧贴合,增加对吹气嘴的夹持力度。

附图说明

图1是本实用新型实施例中结构示意图;

图2是本实用新型实施例中所述吹气架结构示意图;

图3是图2立体图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明:

实施例:一种可调节式的靶材等离子喷涂自吹积瘤装置,该该自吹积瘤装置包括位于位于喷涂罐外且依次利用气管连通的空气压缩机、减压阀、储气罐及脉冲电磁阀,及位于喷涂罐内的吹气架,所述吹气架与等离子喷嘴连接,申请号:201420243774.2在先申请的公开文献中已经公开,再此不在赘述。

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