[实用新型]一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构有效
| 申请号： | 201520488630.8 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204849011U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 刘敏;金云华;李抚龙;赵丽敏 | 申请（专利权）人： | 爱蓝天高新技术材料（大连）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁性材料 磁控溅射 平面 靶机 | ||
【权利要求书】：
1.一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，靶体（1）内通过螺栓（2）固定着导磁体（3），导磁体（3）上设有磁体组件（6）,其特征在于，在靶体（1）下端通过螺钉（12）固定着背板（4），背板（4）与靶体（1）之间设有O型密封圈（5），背板（4）下端固定着至少三块中部靶材（7），在背板（4）与中部靶材（7）之间设有石墨垫（8），靠外侧的两个中部靶材（7）分别连接着端部靶材（9），所述的端部靶材（9）的边沿上设有压条（11），所述的压条（11）通过内六角螺栓（10）固定在背板（4）和靶体（1）上。
2.根据权利要求1所述的一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，其特征在于，所述的中部靶材（7）的横截面Ⅰ（13）为梯形，且梯形斜边的角度为72°至80°。
3.根据权利要求1所述的一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，其特征在于，所述的端部靶材（9）的横截面Ⅱ（14）为梯形，且梯形斜边的角度为72°至80°。
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