[实用新型]一种适用于Encore机型的外防着板的整形工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种整形工具，尤其涉及一种适用于Encore机型的外防着板的整形工具。

背景技术

AppliedMeterials(以下称应用材料)所设计的Encore机型为300mm集成电路生产一重要设备，其中外防着板(以下统称Outershield)为设备中核心零件，外防着板呈圆筒状，主要用途是阻隔电浆能量、提供磁力线圈能量及捕捉多馀金属离子，零件的使用状况与集成电路生产的稳定度及品质有着密不可分的关系。

Outershield会因使用时间的增加，逐渐因真空引力、温度逐渐变形影响生产设备的品质与稳定度。当设备的稳定度或产品品质无法达到需求时，客户的选择都是以报废旧品、更换新品的方式为最终的选择。在成本的支出上是一个沉重的负担。即时对Outershield形状进行整形，可以有效的延长其使用寿命与效能。但由于Outershield造型特殊，有效的整形品质并不溶易达成。

发明内容

本实用新型的目的，就是为了解决上述现有技术存在的问题，而提供一种适用于Encore机型的外防着板的整形工具，对Encore机型的外防着板具有优良的整形效果，延长了Encore机型的外防着板的使用寿命。

实现上述目的的技术方案是：一种适用于Encore机型的外防着板的整形工具，所述外防着板呈圆筒状结构，所述整形工具包括整形板，所述整形板水平设置，所述整形板的中部开设一上下贯通的通孔，该通孔为整形孔，所述整形孔的直径与所述外防着板的直径相适配，所述外防着板穿插在所述整形孔中。

上述的一种适用于Encore机型的外防着板的整形工具，其中，所述整形板的材质为铝合金。

上述的一种适用于Encore机型的外防着板的整形工具，其中，所述整形工具采用CNC精密加工切削形成。

上述的一种适用于Encore机型的外防着板的整形工具，其中，所述整形板的下表面上均布四根立柱。

本实用新型的适用于Encore机型的外防着板的整形工具，结构简单，使用方便，对Encore机型的外防着板具有优良的整形效果，延长了Encore机型的外防着板的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的整形工具的结构示意图；

图2是本实用新型的整形工具的使用状态图。

具体实施方式

为了使本技术领域的技术人员能更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

请参阅图1和图2，本实用新型的实施例，一种适用于Encore机型的外防着板2的整形工具1，外防着板2呈圆筒状结构，整形工具1包括整形板11，整形板11水平设置，整形板11的中部开设一上下贯通的通孔，该通孔为整形孔12，整形孔12的直径与外防着板2的直径相适配，外防着板2穿插在整形孔12中。整形板11的材质为铝合金。整形工具1采用CNC精密加工切削形成。

优选地，整形板11的下表面上均布四根立柱(图中未显示)，立柱用于支撑整形板11。

发明人在客户使用现场采集相关数据，经过研究和实践，开发了本实用新型的整形工具1，可有效的提供优良的整形成果。制作本发明的整形工具1时，先测量外防着板2的大小，做为整形工具1设计的依据。采用CNC精密加工切削形成整形工具1造型。整形工具1材质选用轻巧易加工的铝合金。

再请参阅图2，本实用新型的整形工具1，在使用的时候，利用整形工具1所设计的整形孔12，将外防着板2穿过整形孔12，对变形的外防着板2进行强制整形，恢复外防着板2原有造型。

提供集成电路生产设备更佳的零部件使用寿命为本实用新型的整形工具1最大的优势；集成电路生产过程中，会因为零部件的品质差异，对生产稳定度有着不同程度的影响，当生产设备不稳定时，皆需要投入大量的人力、物力、时间去解决，对于分秒必争的集成电路行业，是个沉重的负担。

本实用新型的整形工具1的开发，可以有效的延长零部件得使用寿命，大幅的降低客户端对于新品采购的成本，达成实质上有效的节约。

以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。