[实用新型]一种工业废气循环处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种废气处理装置，具体涉及一种工业废气循环处理装置，属于工业设备技术领域。

背景技术

目前，环保工作乃是众人注视的焦点，无论对于现今环境或是为往后子孙的生存环境，环保意识乃是现今世界人类的共识，故各国相关法令纷纷制定，本国对于废气排放也有相关规定标准，在现今高科技制造领域如半导体、光电或显示面板制造过程中，必然伴随着一些废气体产生(例如独刻制作工艺所使用的设备)，为了处理制作工艺中产生的废气(如含氟的有毒气体等)，通常会在设备后段连接有废气处理装置，其主要通过燃烧及水洗方式来处理废气。

针对上述所述，本实用新型采用等离子室和吸收室，并且在吸收室内部设有废气吸收器，所述废气吸收器将未处理完全的废气吸入到回流管，进行再一次的处理，提升了该装置的废气处理效率，为此，我们提出一种工业废气循环处理装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种工业废气循环处理装置，通过工业废气循环处理装置，废气吸收器将未处理完全的废气吸入到回流管，进行再一次的处理，提升了该装置的废气处理效率，可以有效解决背景技术中的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型提供一种工业废气循环处理装置，包括处理装置本体，所述处理装置本体包括吸收室和等离子室，所述等离子室顶部设有等离子室进口，所述等离子室进口上设有进气管，所述进气管一端设有进气口，所述进气口内部设有颗粒净化器，所述等离子室内部两侧设有等离子释放器，所述等离子室底部设有等离子室出口，所述吸收室内部一侧设有洗涤槽，所述洗涤槽内部设有洗涤液，所述洗涤槽顶部设有洗涤槽出口，所述洗涤槽一侧设有排气口，所述洗涤槽顶部设有废气吸收器，所述吸收室顶部设有回流管进口。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述等离子室出口上设有出气管，所述出气管与洗涤槽相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述回流管进口顶部设有回流管。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述回流管一端与等离子室进口相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述进气管与回流管相连。

本实用新型所达到的有益效果是：一种工业废气循环处理装置，通过颗粒净化器的装置，将废气中的颗粒物进行净化，起到保护环境的作用，通过等离子释放器的装置，去除空气中的有害物质，起到净化空气的作用，通过洗涤液的装置，提高对废气净化的效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型实施例所述的一种工业废气循环处理装置整体结构示意图；

图中标号：1、处理装置本体；2、回流管；3、回流管进口；4、吸收室；5、排气口；6、洗涤槽出口；7、洗涤槽；8、洗涤液；9、出气管；10、等离子室出口；11、等离子室；12、等离子释放器；13、等离子室进口；14、进气口；15、颗粒净化器；16、进气管；17、废气吸收器。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例：请参阅图1，本实用新型一种工业废气循环处理装置，包括处理装置本体1，所述处理装置本体1包括吸收室4和等离子室11，所述等离子室11顶部设有等离子室进口13，所述等离子室进口13上设有进气管16，所述进气管16一端设有进气口14，所述进气口14内部设有颗粒净化器15，所述等离子室11内部两侧设有等离子释放器12，所述等离子室11底部设有等离子室出口10，所述吸收室4内部一侧设有洗涤槽7，所述洗涤槽7内部设有洗涤液8，所述洗涤槽7顶部设有洗涤槽出口6，所述洗涤槽7一侧设有排气口5，所述洗涤槽7顶部设有废气吸收器17，所述吸收室4顶部设有回流管进口3。

所述等离子室出口10上设有出气管9，所述出气管9与洗涤槽7相连，所述回流管进口3顶部设有回流管2，所述回流管2一端与等离子室进口13相连，所述进气管16与回流管2相连，所述工业废气循环处理装置，废气吸收器将未处理完全的废气吸入到回流管2，进行再一次的处理，提升了该装置的废气处理效率，所述颗粒净化器15，将废气中的颗粒物进行净化，起到保护环境的作用，所述等离子释放器12，去除空气中的有害物质，起到净化空气的作用，所述洗涤液8，提高对废气净化的效率。