[实用新型]高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层有效
| 申请号： | 201520405859.0 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN204752842U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 卢建富;蒋海明;楼建军;楼义;李伟 | 申请（专利权）人： | 浙江金盾链条制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陆永强;陈龙 |
| 地址： | 311813 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬度 耐磨性 tialn zrsin 纳米 结构 保护性 涂层 | ||
【权利要求书】：
1.一种高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层，其特征在于，该涂层包括若干个交替沉积的TiAlN层和ZrSiN层。
2.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，该涂层的总厚度为2.0-5.0μm。
3.根据权利要求1或2所述的涂层，其特征在于，所述的ZrSiN层具有ZrN和SiNx两相结构。
4.根据权利要求3所述的涂层，其特征在于，所述的ZrSiN层厚度小于1.6nm，且ZrSiN层在TiAlN层的模板作用下被转化为面心立方结构。
5.根据权利要求1或2所述的涂层，其特征在于，该涂层最下方的TiAlN层沉积在TiN过渡层上。
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