[实用新型]激光微加工装置

权利要求书

1.激光微加工装置，其特征在于：包括旋转台以及位于其上的容器，下超声振动台安装在容器底部，上超声振动台固定在下超声振动台上，工件置于上超声振动台上，放置工件的上超声振动台上方布置有激光源和透镜，激光源发出激光束，激光束穿过透镜到达工件的表面，放置工件的上超声振动台上侧设有超声喇叭，超声喇叭发射超声波至工件的表面，外容器通过进液管和出液管与容器相连，进液管端部设有喷嘴，喷嘴朝向工件的表面。

2.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述进液管和出液管的管路上安装有变流量泵。

3.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述进液管管路上设有过滤器。

4.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述放置工件的上超声振动台上侧设有第一超声喇叭和第二超声喇叭，分别位于左右两侧并朝向工件表面。

5.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述上超声振动台发射的超声波传播的方向垂直于工件表面，下超声振动台发射的超声波传播方向水平于工件表面。

6.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述进液管发射具有压力的液体流至加工区域及周围区域。

7.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述激光源发出的激光的运动方向与下超声振动台运动方向之间的角度可调。