[实用新型]一种薄膜气体传感器

权利要求书

1.一种薄膜气体传感器，包括泵浦光源(1)、分束镜(2)、光强探测器(3)、A/D转换模块(4-1)和主机(4)，分束镜(2)置于泵浦光源(1)出射泵浦光(1-1)的光路上，所述分束镜(2)反射光路前放置光强探测器(3)，光强探测器(3)通过A/D转换模块(4-1)连接主机(4)，其特征在于：

还包括斩波器(5)、聚焦透镜(6)、选择性吸收薄膜(7)、基底(7-2)、检测光源(8)、检测光探测器及放大器模块；其中：

所述选择性吸收薄膜(7)置于基底(7-2)上；所述分束镜(2)透射光路依次放置斩波器(5)、聚焦透镜(6)和选择性吸收薄膜(7)；检测光源(8)出射的检测光(8-1)经过选择性吸收薄膜(7)及其附近区域后到达检测光探测器；检测光探测器通过放大器模块连接主机(4)。

2.根据权利要求1所述的薄膜气体传感器，其特征在于：所述检测光探测器为光位置探测器(9-1)或针孔光强探测器(9-2)。

3.根据权利要求2所述的薄膜气体传感器，其特征在于：所述光位置探测器(9-1)为二象限或四象限探测器。

4.根据权利要求2所述的薄膜气体传感器，其特征在于：所述检测光探测器为光位置探测器(9-1)，所述检测光(8-1)光路设置为掠过选择性吸收薄膜(7)表面。

5.根据权利要求2所述的薄膜气体传感器，其特征在于：所述检测光(8-1)光路设置为以一定角度斜向入射选择性吸收薄膜(7)。

6.根据权利要求5所述的薄膜气体传感器，其特征在于：所述检测光探测器为针孔光强探测器(9-2)，检测光源(8)与选择性吸收薄膜(7)之间光路中设置聚焦透镜(6)。

7.根据权利要求5所述的薄膜气体传感器，其特征在于：所述检测光探测器置于所述检测光(8-1)入射选择性吸收薄膜(7)形成的反射光路上。

8.根据权利要求5所述的薄膜气体传感器，其特征在于：所述检测光探测器置于所述检测光(8-1)入射选择性吸收薄膜(7)形成的透射光路上。

9.根据权利要求1至8任一项所述的薄膜气体传感器，其特征在于：所述放大器模块包括前置放大器(10-1)和锁相放大器(10-2)，所述检测光探测器通过前置放大器(10-1)连接锁相放大器(10-2)被测信号端，锁相放大器(10-2)参考信号端连接斩波器(5)，锁相放大器(10-2)输出端通过A/D转换模块(4-1)连接主机(4)。