[实用新型]真空室顶部升降装置

权利要求书

1.一种真空室顶部升降装置，包括驱动真空室顶部升降的升降机构，所述真空室顶部包括进气段和出气段，所述升降机构包括第一顶升油缸、第二顶升油缸和第三顶升油缸，所述第一顶升油缸与所述出气段外壁连接，所述第二顶升油缸和第三顶升油缸分别与所述进气段外壁连接，其特征在于：所述升降装置还包括使得真空室顶部竖直升降的导向机构，所述导向机构包括与所述第一顶升油缸连接的第一导向结构、与所述第二顶升油缸连接的第二导向结构和与所述第三顶升油缸连接的第三导向结构。

2.根据权利要求1所述的真空室顶部升降装置，其特征在于：所述出气段外壁上设有凸出的第一连接支座，所述第一连接支座为底部开口的中空长方体，所述第一顶升油缸位于所述第一连接支座下方且活塞杆端部与所述第一连接支座的顶板接触；所述第一导向结构包括导向框架，所述导向框架为中空长方体形且靠近所述出气段的侧面开口，所述第一连接支座嵌设于所述导向框架内且沿所述导向框架竖直滑动。

3.根据权利要求2所述的真空室顶部升降装置，其特征在于：所述进气段外壁上设有凸出的两个第二连接支座，两个所述第二连接支座沿所述进气段的中轴线对称设置；所述第二连接支座为底部开口的中空长方体，所述第二顶升油缸或所述第三顶升油缸位于对应的第二连接支座下方且活塞杆端部与该第二连接支座的顶部接触；所述第一连接支座包括与所述出气段连接的第一侧板，所述第二连接支座包括与所述进气段连接的第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板垂直。

4.根据权利要求3所述的真空室顶部升降装置，其特征在于：所述第二导向结构包括第一导向板和在所述第一导向板上滑动的两个第一导向轮，所述第一导向板与相邻的远离所述出气段的第二侧板垂直连接，其中一个所述第一导向轮设于所述第一导向板远离所述第二顶升油缸的一侧，另一个所述第一导向轮设于所述第一导向板远离所述进气段的一侧。

5.根据权利要求3或4所述的真空室顶部升降装置，其特征在于：所述第三导向结构包括第二导向板和在所述第二导向板上竖直滑动的两个第二导向轮，所述第二导向板与相邻的远离所述出气段的第二侧板垂直连接，其中一个所述第二导向轮设于所述第二导向板远离所述第三顶升油缸的一侧，另一个所述第二导向轮设于所述第二导向板远离所述进气段的一侧。