[实用新型]一种激光加工系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种激光加工技术领域，尤其涉及一种基于超短脉冲的激光加工系统。

背景技术

在利用激光进行加工的过程中，加工件上的热量会从激光聚焦点向外扩散，使得熔融区域的尺寸远大于激光聚焦点的尺寸，因此通常情况下很难做到微细加工，即激光加工过程中的热扩散对加工件的加工精度有不利影响。

另外加工件材料中的随机过程模型也会影响加工精度。具体地，当激光脉冲进入加工件的材料中雨后，开始产生电子受激振荡，束缚电子因受限于固定位置，所以仅产生小幅度的振动；而未受束缚的自由电子一旦受激便将强烈振荡起来，而且自由电子偶尔会碰到附近的原子，如果激光场强足够大，在自由电子碰撞附近的原子的过程中，会将被碰撞的原子中的电子从束缚的能级中踢出，如此便有了两个自由电子；而这两个自由电子再去碰撞出另外两个附近的原子中的电子，如此一直反复下去，这类的倍增效应称之为雪崩效应。而在对加工件进行加工精度更高的激光加工时，上述的雪崩效应是必需的。在一开始时，如果没有股走的自由电子，就没有雪崩过程的开始，也就无法实现激光脉冲对加工件的加工。在金属材料中存在非常充分的自由电子，因此雪崩过程几乎是马上发生，使得加工的再现性极佳。但是在半导体或绝缘体内，自由电子相对较少，所以雪崩过程不见得马上发生，这取决于光束是否打到自由电子，假设一开始电磁场内存在一些自由电子，那加工会显得比较有效率，倘若没有，雪崩效应不会开始，所以加工的过程就必须靠些运气，这导致加工的不稳定性，即时激光脉冲是非常稳定且每个脉冲的聚焦点大小和能量大小都一样，加工的结果仍然会有所不同，这个实现非常细微的加工带来非常严重的限制，因此也不利于提高加工精度。

发明内容

本实用新型提供一种激光加工系统，能够提高加工精度。

为实现上述目的，本实用新型提供一种激光加工系统，包括：

第一超短脉冲激光器，用于获得激光脉冲宽度短于或等于10皮秒的第一超短脉冲激光；

加工件，用于利用所述第一超短脉冲激光对其进行加工。

在一个优选的实施例中，在通过第一超短脉冲激光对加工件进行加工前，在所述加工件和所述第一超短脉冲激光之间的电磁场中预先存在至少一个自由电子。

在一个优选的实施例中，所述激光加工系统还包括：

预脉冲激光发生装置，用于预先向所述加工件施加激光预脉冲，以在所述加工件和所述第一超短脉冲激光之间的电磁场中预先形成至少一个自由电子。

在一个优选的实施例中，所述预脉冲激光发生装置为紫外激光预脉冲发生装置或飞秒激光预脉冲发生装置。

在一个优选的实施例中，所述第一超短脉冲激光器还用于预先向所述加工件施加激光预脉冲，以使所述加工件和所述第一超短脉冲激光之间的电磁场中预先形成至少一个自由电子。

通过本实用新型实施例提供的方案，能够为加工件提供既精确又干净的加工过程。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一个实施例提供的一种激光加工方法的示意图；

图2是本实用新型另一个实施例提供的一种激光加工方法的示意图；

图3是本实用新型一个实施例提供的一种激光加工系统的示意图；

图4是本实用新型另一个实施例提供的一种激光加工系统的示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

本实用新型实施例提供一种激光加工方法，如图1所示，该方法包括如下步骤：

步骤S101：获得激光脉冲宽度短于或等于10皮秒的第一超短脉冲激光；

步骤S102：利用步骤S101获得的第一超短脉冲激光对加工件进行加工。