[实用新型]可调式遮蔽框结构有效
申请号: | 201520349247.4 | 申请日: | 2015-05-27 |
公开(公告)号: | CN204714881U | 公开(公告)日: | 2015-10-21 |
发明(设计)人: | 萧俊义;程家伟 | 申请(专利权)人: | 红日应用材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 毛广杰 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 调式 遮蔽 结构 | ||
技术领域
本实用新型有关于一种镀膜用的遮蔽框结构,尤指一种可调式遮蔽框结构。
背景技术
目前在镀膜制程上,常见使用遮蔽框罩盖于基板的周围与作业平台,从而定位基板并防止膜层披覆于作业平台,以保护作业平台并避免影响镀膜制程的过程。
然而,传统遮蔽框多以一体成型的方形环框为主,因此不同尺寸的基板需要不同尺寸的遮蔽框相互配合。但是,现今镀膜制程越来越多采客制化制作,所以不同尺寸的遮蔽框会造成业者有囤积过多遮蔽框及增加制造成本等问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可调式遮蔽框结构,其利用环框由多个边框相互组接而成,让环框可通过各边框组接的位置而调整尺寸大小,使可调式遮蔽框结构能配合不同尺寸的基板使用,以避免业者囤积过多遮蔽框及节省制造成本。
本实用新型提供一种可调式遮蔽框结构,包括:
一环框,由多个边框相互组接而成,每一该边框具有相对的一第一面与一第二面,以及相对的一第一端与一第二端,每一该第一面自该第一端朝内开设有一第一凹陷槽,并在该第一凹陷槽底部形成有一第一突出板,每一该第二面自该第二端朝内,开设有一第二凹陷槽并在该第二凹陷槽底部形成有一第二突出板,各该第一突出板嵌合于各该第二凹陷槽,各该第二突出板嵌合于各该第一凹陷槽,每一该第一突出板设有一长孔,每一该第二突出板设有至少一固定孔;以及
多个固定组件,分别穿设且固定于多个该长孔及多个该固定孔。
还包括多个T字状块体,每一该边框具有一内端缘,每一该第一凹陷槽具有一第一内壁,每一该第二凹陷槽具有一第二内壁,各该第一端与各该第二内壁相互抵靠,各该第二端与各该第一内壁之间具有一间距,每一该第一内壁与该内端缘共同开设有一凹沟,每一该第二端与该内端缘共同开设有一缺口,各该T字状块体嵌合于各该间距、各该凹沟及各该缺口。
其中每一该T字状块体具有一横杆及自该横杆中间延伸的一直杆,各该横杆嵌合于各该凹沟及各该缺口,各该直杆嵌合于各该间距。
其中每一该边框于该第二面延伸有一凸肋,各该凸肋彼此环形排列成一环圈。
其中每一该第二面相对该凸肋形成有一下陷段,每一该下陷段延伸有多个凸点。
其中边框的数量为4个,每一该边框为一L字状板体,该环框为一方形框体。
其中边框的数量为2个,每一该边框为一半圆弧状板体,该环框为一圆形框体。
本实用新型具有以下优点:
第一、每一第二面延伸有多个凸点,各凸点与作业平台点接触,以大幅减少环框与作业平台的接触面积及摩擦力,进而防止环框刮伤或磨坏作业平台。
第二、可调式遮蔽框结构还包括多个T字状块体,T字状块体填合并止挡于各环框相互组接的间距,使T字状块体有效地止挡气流朝间距方向流动,以达到可调式遮蔽框结构具有良好地使用稳定性及方便性。
附图说明
图1 :本实用新型提供的可调式遮蔽框结构的立体分解图。
图2 :本实用新型提供的可调式遮蔽框结构的另一立体分解图。
图3 :本实用新型提供的可调式遮蔽框结构的立体组合图。
图4 :本实用新型提供的可调式遮蔽框结构的另一立体组合图。
图5 :本实用新型提供的可调式遮蔽框结构的使用状态示意图。
图6 :本实用新型提供的可调式遮蔽框结构的另一使用状态示意图。
图7 :本实用新型提供的可调式遮蔽框结构另一实施例的立体组合图。
图中:
10…可调式遮蔽框结构;
1…环框;
11…边框;
12…第一面;
121…第一凹陷槽;
122…第一突出板;
123…长孔;
124…第一内壁;
125…凹沟;
13…第二面;
131…第二凹陷槽;
132…第二突出板;
133…固定孔;
134…第二内壁;
135…缺口;
14…第一端;
15…第二端;
16…内端缘;
17…凸肋;
18…环圈;
19…下陷段;
191…凸点;
2…固定组件;
3…T字状块体;
31…横杆;
32…直杆;
s…间距;
100…作业平台;
101…定位槽;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于红日应用材料有限公司,未经红日应用材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520349247.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:薄板电镀夹具
- 下一篇:一种电渣炉自耗电极的联接装置
- 同类专利
- 专利分类