[实用新型]层流等离子体发生器

权利要求书

1.一种层流等离子体发生器，主要由阴极部分、阳极部分、进气环、底座和紧固螺钉组成，其特征在于：所述的阴极部分由阴极座和阴极头组成，采用3~6个紧固螺钉与底座连接；所述的进气环内圆与阴极座配合，外圆与阳极座配合；所述的阳极部分由阳极座、阳极头和压紧端盖组成，采用3~6个紧固螺钉与底座连接。

2.根据权利要求1所述的一种层流等离子体发生器，其特征在于：所述的阴极座由阴极接线、阴极连接件和中心水冷管组成，阴极接线一端加工有水冷电缆接头，且焊接有冷却水出水接头，并通过3~6组螺钉与底座固连，另一端与阴极连接件大圆端焊接为一体；阴极连接件小圆端在靠近大圆端处加工有进气环槽，另一端向内倒M3圆角，圆角面上均布3~10个Φ1~2mm的小孔与进气环槽连通；中心水冷管一端加工有螺纹与阴极接线连接，另一端加工有U型开口。

3.根据权利要求1所述的一种层流等离子体发生器，其特征在于：所述的阴极头由阴极头座和钨极头组成，阴极头座靠近阴极座一端加工有螺纹与阴极座连接，在外圆面上加工有密封圈槽，并配密封圈，另一端与钨极头镶嵌固连。

4.根据权利要求1所述的一种层流等离子体发生器，其特征在于：所述的进气环采用聚四氟乙烯或陶瓷加工，各配合面采用间隙配合，在大圆端上外圆面上加工有进气环槽，并均布3~10个Φ1~2mm的小孔与阴极连接件上的进气环槽连通，小圆端端面上靠近阴极头处均布3~6个直径为1mm的进气孔。

5.根据权利要求1所述的一种层流等离子体发生器，其特征在于：所述的阳极座由阳极内壳、分水环和阳极外壳焊接组成，且在阳极座外圆面上焊接有进气接头、冷却水出水卡套和水冷电缆接头，在阳极内壳大圆端面均布3~6个螺纹孔，通过螺钉与底座固连；阳极外壳大圆端面均布3~6个螺纹孔，通过螺钉将阳极头与阳极座固连。

6.根据权利要求1所述的一种层流等离子体发生器，其特征在于：所述的阳极头由压缩段与稳弧段构成，两段间用圆角平滑过渡，并加工有冷却水槽。

7.根据权利要求1所述的一种层流等离子体发生器，其特征在于：所述的底座采用聚四氟乙烯材料加工。