[实用新型]一种吸气剂性能测试平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种吸气剂性能测试平台，属于真空电子器件领域。

背景技术

吸气剂是用来获得、维持真空以及纯化气体，能有效地吸附某些（种）气体分子的制剂或装置的通称。吸气剂大量应用于真空电子器件中，为器件创造良好的工作环境，稳定器件的特性参量，对器件的性能及使用寿命有重要的影响。吸气剂分为蒸散型和非蒸散型两种，它们均在常温下表现出稳定的化学性质，在400℃以上激活或蒸散后才能吸气。

吸气剂一经激活，当它暴露在所要抽除的气体之中时，即能产生抽气作用。在抽气的过程中，一般来说，氢气是均匀地散布在整个吸气剂体积中，其它的活性气体比较集中于表面处，结果导致对气体的吸着速度逐步下降，当吸着速度下降到了最小允许的数值，可以认为吸气剂表面出现了气体分子的积累，受到了严重的污染，活性消失，吸气剂的一次使用寿命终了。此时，如果对吸气剂进行加热除气，由于表面的活性可得到部分的恢复，吸着速度重新提高。在加热除气过程中，可以从质谱仪得到的质谱分析图上看出，除H₂之外，CO、CO₂等其它气体释放量几乎可以忽略不计，当加热到激活温度时，每次毫克吸气剂的放氢量为0.1Torr·ml。由于锆铝16等吸气剂的吸氢特性与海绵吸水相似，故有人称其为氢海锦。我们可以利用吸气剂加热除气时H₂的释放量（或速率）来评价吸气剂的性能。

目前测试吸气性能的方法主要是将吸气剂装入检测系统的样品室，抽真空后再充入一定量的氢气、氧气等吸气剂可吸收的气体，根据样品室内的气体变化量确定吸气剂的性能。对于锆铝16、锆-石墨等可再生的吸气剂，使用几次后，需要测试其性能，确定是否还可以再使用，但大多数真空系统并没有氢气等气体，而且充排氢气有一定的危险性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种吸气剂性能测试平台。通过该平台，不用充入氢气等吸气剂可吸收的气体，通过四极质谱仪来测试吸气剂性能。

本实用新型的技术方案是：

一种吸气剂性能测试平台，包括主管路，还包括：

样品玻壳通过第一截止阀与主管路连接；

四级质谱仪通过第二截止阀与主管路连接；

涡轮分子泵通过插板阀与主管路连接，所述涡轮分子泵还通过第三截止阀与机械泵连接。

进一步的技术方案是：

所述的吸气剂性能测试平台，其四级质谱仪还与计算机连接。

使用本实用新型的装置测试吸气剂性能时，将吸气剂焊接电极后，封接在样品玻壳中。本实用新型通过测试加电后吸气剂释放的H₂的速率来评价吸气剂的性能。由于吸气剂除气再生时，其吸收的部分H₂会释放出来，可通过四极质谱仪标定的H₂ 释放速率确定吸气剂是否可以继续使用。具体方法如下：吸气剂第一次除气激活时，用四极质谱仪探测出加热到激活温度时的H₂释放速率，以后每次除气激活时用四极质谱探测出加热到激活温度时的放H₂释放速率，当H₂释放速率降至第一次H₂释放速率的一半时认为此吸气剂不能再使用。

本实用新型适用于在无气体充入的情况下检测吸气剂的性能。与传统吸气剂检测方法不同在于，检测过程中无需充入气体，特别是有一定危险性的氢气。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

图中：1－样品玻壳；2－四极质谱仪；3－主管路；4－计算机；5－涡轮分子泵；6－机械泵；7.1－第一截止阀；7.2－第二截止阀；7.3－第三截止阀；8－插板阀。

具体实施方式

下面通过具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明：

如图1所示，一种吸气剂性能测试平台，包括主管路3，还包括：

样品玻壳1通过第一截止阀7.1与主管路3连接；

四级质谱仪2通过第二截止阀7.2与主管路3连接；

涡轮分子泵5通过插板阀8与主管路3连接，所述涡轮分子泵5还通过第三截止阀7.3与机械泵6连接；

 所述四级质谱仪2还与计算机4连接。

本实用新型适用于在无气体充入的情况下测试吸气剂的性能，测试过程中无需充入气体，特别是有一定危险性的氢气。