[实用新型]一种高精度非接触式三维微小力发生装置

权利要求书

1.一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：包括非接触式微力发生器、方向调节杆（6）、旋转平台（7）和固定底座（1），所述旋转平台（7）安装在固定底座（1）上，所述方向调节杆（6）与旋转平台（7）铰接，所述非接触式微力发生器安装在方向调节杆（6）上。

2.根据权利要求1所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：所述非接触式微力发生器为叉指微力发生器，所述叉指微力发生器的上下极板间的结构为叉指状结构，所述叉指微力发生器的上下极板分别与外部的正负电极（V+，V-）连接，所述叉指微力发生器的下极板安装在方向调节杆（6）上。

3.根据权利要求2所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：在所述叉指微力发生器的下极板与方向调节杆（6）之间还设有位置调节装置。

4.根据权利要求3所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：所述位置调节装置包括X方向位置调节装置（31）、Y方向位置调节装置（32）和Z方向位置调节装置（33）。

5.根据权利要求3所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：所述叉指微力发生器的上极板上方还设有用于连接被测装置的连接板（4）。

6.根据权利要求5所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：在所述连接板（4）与叉指微力发生器的上极板之间以及所述叉指微力发生器的下极板与位置调节装置之间均设有绝缘层（5）。

7.根据权利要求1所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：还包括定位螺栓（2），所述旋转平台（7）通过定位螺栓（2）固定在固定底座（1）上。

8.根据权利要求1所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：还包括用于固定方向调节杆（6）方向的固定螺栓（20）。

9.根据权利要求1所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：所述方向调节杆（6）与旋转平台（7）的铰接方式为球形铰接。