[实用新型]一种自动式特殊气体分配箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送领域，尤其涉及一种自动式特殊气体分配箱。

背景技术

由于全球电子和光伏产业的蓬勃发展，国内半导体和光伏制造业也得到了迅猛的发展。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体和光伏相关产业常用的制程中，往往需要使用许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可小看的。

其中，特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。

特殊气体分配箱是一种用在半导体和光伏产业中的设备，主要是为工艺机台连续配送工艺气体。因工艺一般为钢瓶包装，在工厂运转过程中须不断更换新的气体钢瓶，拆除在线的用空的气体钢瓶，即钢瓶更换流程。在钢瓶更换过程中为保证有毒有害气体不外漏而威胁到人身安全，拆除用空的钢瓶前，须用高纯氮气置换与钢瓶相连的管线内的有毒有害气体，这在钢瓶更换流程称之为换瓶前吹。为确保有毒有害气体能置换干净，须重复开关排空阀和吹扫阀60次以上。当空钢瓶拆除换装上新的钢瓶后须对新装好的钢瓶接口做泄漏测试。对泄漏测试通过的钢瓶我们要做换瓶后吹扫，以清除换瓶过程中有可能带入气体管线的空气、水分和微小的颗粒。这个过程须连续持续3至4小时。

目前，现有特殊气体分配箱的操作均须人工手动来完成。因此带来诸多不合理因素：1、操作员机械连续重复同一个动作，误操作几率高。2、操作员在整个操作过程中因需要手动开关阀门，直接面对输送有毒有害气体设备时间长，人员安全风险大。3、手动特殊气体输送柜在有气体泄漏、火灾报警等紧急情况是无法自己关闭阀门，切断气源来减少危害。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种自动式特殊气体分配箱，可以有效的确保工厂正常生产和员工人身安全，实现设备状况现场显示，同时具备操作人员无需直接接触有毒、有害介质等优点。

上述的一种自动式特殊气体分配箱，包括箱体和设置于箱体表面的声光报警器、观察窗以及双开门，所述双开门位于箱体的上部，所述观察窗位于箱体的下部，所述声光报警器和观察窗均位于双开门上；其中，所述箱体的内部包括控制操作单元、气瓶工作单元、吹扫单元以及报警单元；

所述控制操作单元包括控制器、操控装置以及控制电路，所述操控装置和控制电路均位于箱体的下部，所述操控装置通过控制器与控制电路相连；所述气瓶工作单元包括气动调节阀、压力传感器、过滤器以及工作管路，所述气动调节阀与控制器相连；

所述吹扫单元包括吹扫气体进口、气动吹扫氮气隔离阀、气动排放阀以及真空泵，所述吹扫气体进口位于箱体上，所述气体吹扫氮气隔离阀的一端通过工作管路与吹扫气体进口相互连通，所述真空泵位于箱体的内部，所述真空泵的出口通过管道连接到所述的箱体外；

所述报警单元包括气体泄露传感器和所述声光报警器，所述气体泄露传感器位于箱体的内部且与控制器相连；所述箱体的内部还设置有气动阀。

上述设备中，所述吹扫单元还包括单向阀，所述单向阀位于吹扫气体进口与气动吹扫氮气隔离阀之间。

上述设备中，所述操控装置为触摸屏。

上述设备中，所述观察窗为防爆玻璃窗。

上述设备中，所述气动排放阀包括高压气动排放阀、低压气动排放阀以及隔离阀。

上述设备中，所述吹扫单元还设置有微流阀，所述微流阀的进口端与吹扫气体进口相连通，所述微流阀的出口端与工作管路相连接。