[实用新型]一种大尺寸靶材吊运装置

说明书

技术领域

本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造领域，涉及一种大尺寸靶材吊运装置。

背景技术

目前大尺寸靶材在平板显示、太阳能领域有着广泛的应用。以TFT(Thin Film Transistor，薄膜场效应晶体管)、PDP(Plasma Display Panel，等离子显示板)为代表的大尺寸靶材多采用高纯材料，该类材料特点为材料硬度低、厚度薄,形状尺寸变化大，加工后零件表面不允许存在任何磕碰划伤，吊运时零件会存在变形等问题，不同尺寸零件需要配置不同的工装。为解决上述问题，急需设计一套工装，可以通过灵活的组合适应不同零件的吊运，同时工装采用高刚性连接，防止吊运过程中的变形。连接点位置采取单层扁平真空吸盘，与零件接触后不造成任何划伤。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提出了一种大尺寸靶材吊运装置，包括：主横梁、支撑梁、气动吸盘、销轴、气动控制开关、气源系统；其中，多个气动吸盘固定在主横梁和支撑梁下方，主横梁一侧开有槽，槽上下两侧开口对齐的固定孔，且这些固定孔等距分布，主横梁和支撑梁的两端均开有固定孔，通过将支撑梁的固定孔与主横梁两端的固定孔或中间的固定孔用销轴固定后形成多种吊运装置，用于适应不同形状的靶材；气动吸盘通过气动控制开关与气源系统相连。

所述主横梁和支撑梁通过固定孔依次交替沿直线固定，用于吊装带线靶材。

所述主横梁为两根，且互相平行，主横梁之间通过两根互相平行的支撑梁固定，支撑梁两端可在主横梁的槽内滑动来调整固定位置，通过调整两根支撑梁之间的距离来适应不同宽度的方形靶材。

所述气动吸盘为扁平真空吸盘。

所述气动吸盘均处于同一平面上。

所述主横梁上安装有吊环，为吊装受力点。

所述销轴为定位销，防止主横梁和支撑梁在固定孔处相对旋转。

本实用新型可以通过单元横梁之间的任意组合形成不同形状的工装来吊运不同尺寸的靶材。当吊运长宽比较大的长条形零件时，工装沿直线进行组合，通过吸盘吸附进行吊运。针对长宽比较小的方形零件，可以按回型组合工装，对于不同宽度的方板可沿零件宽度方向调整横梁来实现吊运。本实用新型与现有吊运工装相比，增加了气动吸盘，降低了零件吊运时的磕碰划伤，获得了更好的零件表面质量。本实用新型所提供的一种大尺寸靶材吊运工装对吸盘进行了合理布局，在零件重心位置增加吸盘数量，有效的缓解了零件在吊运过程中的变形问题，可以获得平面度更好的靶材。本实用新型所提供的一种大尺寸靶材吊运工装结构简单，可以任意组合，根据所需吊运的零件快速组合成所需工装，减少了专用工装数量，降低了工装成本。

附图说明

图1是本实用新型的主横梁示意图；

图2是本实用新型的支撑梁示意图；

图3是本实用新型的定位销示意图；

图4是本实用新型沿直线方向组合示意图；

图5是本实用新型回字形组合方式一示意图；

图6是本实用新型回字形组合方式二示意图；

图7是本实用新型实施例1示意图；

图8是本实用新型实施例2示意图。

具体实施方式

本实用新型提出了一种大尺寸靶材吊运装置。下面结合附图，对优选实施例作详细说明。

一种大尺寸靶材吊运装置，包括：主横梁、支撑梁、气动吸盘、销轴、气动控制开关、气源系统；其中，多个气动吸盘固定在主横梁和支撑梁下方，如图1和2所示，主横梁一侧开有槽，槽上下两侧开口对齐的固定孔，且这些固定孔等距分布，主横梁和支撑梁的两端均开有固定孔，通过将支撑梁的固定孔与主横梁两端的固定孔或中间的固定孔用销轴固定后形成多种吊运装置，用于适应不同形状的靶材；气动吸盘通过气动控制开关与气源系统相连。

如图3所示，销轴为定位销，防止主横梁和支撑梁在固定孔处相对旋转。

如图4所示，主横梁和支撑梁通过固定孔依次交替沿直线固定，用于吊装带线靶材。

如图5和6所示所述主横梁为两根，且互相平行，主横梁之间通过两根互相平行的支撑梁固定，支撑梁两端可在主横梁的槽内滑动来调整固定位置，通过调整两根支撑梁之间的距离来适应不同宽度的方形靶材。

所述气动吸盘均处于同一平面上。

所述主横梁上安装有吊环，为吊装受力点。