[实用新型]一种电感耦合式射频等离子体源

权利要求书

1.一种电感耦合式射频等离子体源，其特征在于：包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接；

所述支撑连接机构包括法兰组件(19-17)、以及穿过法兰组件(19-17)的双层管件(9-11)；

所述反应气体导入机构与法兰组件(19-17)相连接、包括控制导入气体的开启与关闭的角阀(25)，所述角阀(25)的一端与导气管接头(27)相连接，所述角阀(25)的另一端与三通连接件(29)相连接，所述三通连接件(29)与容纳反应气体的双层管件(9-11)相连接；

所述等离子体发生机构包括电极(16)、导波片(13)、绝缘管(12)、电感线圈(3)和真空介电窗(4)，所述电极(16)设置在法兰组件(19-17)上，所述电感线圈(3)缠绕于真空介电窗(4)上，所述导波片(13)与电感线圈(3)相连接，所述绝缘管(12)套接在导波片(13)上；

所述水冷机构包括设置在法兰组件(19-17)上的进水管接头(18.1)、冷水管组件(20-1)和出水管接头(18.2)，所述进水管接头(18.1)、冷水管组件(20-1)和出水管接头(18.2)形成一闭合回路。

2.根据权利要求1所述的一种电感耦合式射频等离子体源其特征还在于：所述反应气体导入机构还包括密封圈(34)和密封件(35)，所述双层管件(9-11)包括同轴设置的双层管内管(9)和双层管外管(11)，所述双层管件(9-11)与双层管接头(7)相连接，所述密封圈(34)和密封件(35)放置于密封螺母(6)与双层管接头(7)之间，所述密封螺母(6)、密封圈(34)、密封件(35)、双层管接头(7)将真空介电窗(4)密封。

3.根据权利要求1所述的一种电感耦合式射频等离子体源，其特征还在于：所述冷水管组件(20-1)包括第一水管(21)、沿双层管件(9-11)设置的第二水管(24)、在法兰组件(19-17)上方盘旋设置的第三水管(31)、放置于双层管件(9-11)之间的第四水管(10)，所述第一水管(21)焊接在法兰组件(19-17)上一端与进水管接头(18.1)相连通另一端与焊接在法兰组件(19-17)另一侧的电感线圈(3)相连通，所述电感线圈(3)与焊接在法兰(19-17)上的第三水管(31)的一端相连通，所述第三水管(31)的另一端焊接在双层管外管(9-11)上与第四水管(10)相连通，所述第四水管(10)延伸到双层管件(9-11)的前端，所述第二水冷管(24)一端焊接在双层管外管(11)上一端与第四水管(10)相连通另一端焊在在法兰组件(19-17)上与出水管接头(18.2)相通。

4.根据权利要求3所述的一种电感耦合式射频等离子体源，其特征还在于：所述第四水管(10)焊接于双层管内管(9)和双层管外管(11)之间的空间内、与双层管外管(11)相连接、延伸至双层管件(9-11)的底部。

5.根据权利要求1所述的一种电感耦合式射频等离子体源，其特征还在于：该装置还包括备用机构，所述备用机构与法兰组件(19-17)相连接、包括法兰(22)和盲板法兰(23)，所述法兰(22)与备用管(20)相连接，所述盲板法兰(23)与法兰(22)相连接。

6.根据权利要求1所述的一种电感耦合式射频等离子体源，其特征还在于：该装置还包括观察机构，所述观察机构包括观察窗(28)，所述观察窗(28)与三通连接件(29)相连接。

7.根据权利要求1所述的一种电感耦合式射频等离子体源，其特征还在于：该装置还包括将反应状态下产生的电场、磁场进行屏蔽隔离的屏蔽机构，所述屏蔽机构包括屏蔽盖(1)和屏蔽罩(2)，所述屏蔽罩(2)设置在等离子体发生机构的外侧与第一法兰(14)相连接。

8.根据权利要求1所述的一种电感耦合式射频等离子体源，其特征还在于：所述支撑连接机构还包括第一支撑块(5)和第二支撑块(8)，所述双层管件(9-11)和电感线圈(3)穿过第二支撑块(8)设置，所述电感线圈(3)和真空介电窗(4)穿过第一支撑块(5)设置，所述真空介电窗(4)穿过电感线圈(3)设置。