[实用新型]一种低温等离子进样系统

权利要求书

1.一种低温等离子体进样系统,其特征在于：包括基板(1)及设置在基板(1)上的样品台模块(2)、低温等离子模块(3)和照相扫描模块(4)；所述样品台模块(2)中设有样品池(201)、样品池移动驱动装置和样品池密封装置，样品池(201)的两侧分别设有载气入口和载气出口，样品池(201)设在样品池移动驱动装置上并在样品池移动驱动装置的驱动下在水平面上形成一定的运动区域，样品池密封装置用于对样品池进行密封；所述低温等离子模块(3)用于对样品池(201)中的样品进行剥蚀；所述照相扫描模块(4)用于对样品池(201)中的样品进行拍照。

2.按照权利要求1所述的一种低温等离子体进样系统，其特征在于：所述样品池移动驱动装置包括滑台底板(202)、滑台中板(203)、滑台上板(204)、第一驱动装置(205)和第二驱动装置(206)；滑台中板(203)的下侧面和上侧面分别通过导轨与滑台底板(202)上侧面的导轨槽和滑台上板(204)下侧面的导轨槽配合连接，滑台中板(203)下侧面和上侧面上的导轨相互垂直；滑台底板(202)和第一驱动装置(205)均固定在基板(1)上，第一驱动装置(205)中的移动部件与滑台中板(203)固定连接，第二驱动装置(206)固定在滑台中板(203)的侧壁上，第二驱动装置(206)中的移动部件与滑台上板(204)固定连接。

3.按照权利要求2所述的一种低温等离子体进样系统，其特征在于：所述第一驱动装置(205)和第二驱动装置(206)为丝杠机构，所述丝杠机构设有电机、丝杠、移动部件和丝杠支架，丝杠的一端与电机的旋转轴固定连接，丝杠的另一端架设在丝杠支架上，移动部件通过自身上的贯通孔套设在丝杠上，所述贯通孔的内螺纹与丝杠的外螺纹配合连接。

4.按照权利要求3所述的一种低温等离子体进样系统，其特征在于：所述滑台中板(203)下侧面和上侧面上的导轨至少设置一条，导轨的横截面为矩形、三角形、梯形或者半圆形；所述电机为步进电机、伺服电机、直流电机或交流电机。

5.按照权利要求2所述的一种低温等离子体进样系统，其特征在于：所述第一驱动装置(205)和第二驱动装置(206)为齿条传动机构或皮带传动机构；所述滑台中板(203)下侧面和上侧面上的导轨至少设置一条，导轨的横截面为矩形、三角形、梯形或者半圆形。

6.按照权利要求4或5所述的一种低温等离子体进样系统，其特征在于：所述样品池密封装置包括两个竖向设置的密封支架板(207、208)和密封盖板(209)，两个密封支架板(207、208)分别固定在基板(1)上并处于样品池移动驱动装置的两侧，密封盖板(209)通过定位孔或定位销卡扣在两个密封支架板(207、208)上，密封盖板(209)的中部设有放电管入口，密封盖板(209)的下侧面与样品池(201)的上端口齐平。

7.按照权利要求6所述的一种低温等离子体进样系统，其特征在于：所述低温等离子模块(3)包括低温等离子体放电管(301)、第一电极(302)、第二电极(303)、放电气体管道(304)、第一支架(305)、第一支架臂(306)和第一调节旋钮(307)；第一支架(305)垂直设置，第一支架臂(306)水平设置，第一支架臂(306)的末端与第一支架(305)上下滑动连接，第一调节旋钮(307)用于通过丝杠机构、齿条传动机构或皮带传动机构手动或电动调节第一支架臂(306)的水平高度；低温等离子体放电管(301)垂直安装在第一支架臂(306)的前端，低温等离子体放电管(301)处于样品池(201)在水平面上运动区域的上方；第一电极(302)和第二电极(303)分别与低温等离子体放电管(301)的两端连接，放电气体管道(304)与低温等离子体放电管(301)的上端连通。

8.按照权利要求7所述的一种低温等离子体进样系统，其特征在于：所述照相扫描模块(4)包括照相机(401)、第二支架(402)、第二支架臂(403)、第二调节旋钮(404)；第二支架(402)垂直设置，第二支架臂(403)水平设置，第二支架臂(403)的末端与第二支架(402)上下滑动连接，第二调节旋钮(307)用于通过丝杠机构、齿条传动机构或皮带传动机构手动或电动调节第二支架臂(306)的水平高度；照相机(401)安装在第二支架臂(403)的前端，照相机(401)处于样品池(201)在水平面上运动区域的上方。

9.按照权利要求8所述的一种低温等离子体进样系统，其特征在于：还包括控制模块，控制模块用于对设备中各部件的运行参数进行控制和管理。