[实用新型]一种量测工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体量测领域，尤其涉及一种量测工具。

背景技术

在半导体生产中，很多设备都需要精确量测高度，而因为机械单元齿轮、皮带磨损等原因造成位置偏移，需要定期对高度进行检查和调整，该周期一般为3到6个月。另外由于特殊制程的特殊要求，需要不同的高度，我们需要一边测量高度，一边进行调整。

然而，目前的量测方式是通过不同规格的塞规进行量测，这种情况下就需要多重规格的塞规，且量测精度不高，在高度的调整时，量测高度不准确导致参考性不强，需要调整次数较多。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型提供一种量测工具，其特征在于，包括

底板，具有一水平表面，且该底板之上设置有与所述水平表面垂直的固定杆；

第一直角三角形锥体，套设于所述固定杆上，以使得该第一直角三角形锥体能够沿所述固定杆垂直于所述水平表面方向往复运动；

第二直角三角形椎体，设置在所述第一直角三角形锥体与所述底板之间，且该第二直角三角形锥体的斜面与第一直角三角形锥体的斜面贴合；

其中，所述第二直角三角形椎体平行于所述水平面进行运动，以驱动所述第一直角三角形椎体沿所述固定杆垂直于所述水平表面并远离该水平表面方向运动。

上述的量测工具，其特征在于，所述量测工具还包括：

垂直挡板，固定设置在所述底板上，贴合所述第二直角三角形椎体；

拉杆，穿过所述垂直挡板固定在所述第二直角三角形椎体的一直角面上，来回推动所述拉杆并带动所述第二直角三角形锥体平行于所述水平表面运动。

上述的量测工具，其特征在于，所述拉杆上设有刻度，根据该刻度获取所述第二直角三角形锥体运动的距离，并利用第二直角三角形锥体的任一锐角的角度及所述距离计算出所述第一直角三角形锥体升降的高度值。

上述的量测工具，其特征在于，所述底板、所述第一直角三角形椎体、所述第二直角三角形椎体、所述垂直挡板和所述拉杆的材料均为硬质塑料。

上述的量测工具，其特征在于，所述第二直角三角形锥体的斜面与所述水平表面之间的夹角为α，且该α大于0度小于90度。

上述的量测工具，其特征在于，所述拉杆推进长度为L，则量测公式为：

H＝h+L*tanα

其中，量测的距离为H，所述量测工具固有高度为h。

上述的量测工具，其特征在于，所述夹角小于45°时，所述第二直角三角形椎体水平方向移动距离大于所述第一直角三角形椎体垂直方向移动的距离。

上述的量测工具，其特征在于，所述第一直角三角形锥体的侧面图形与所述第二直角三角形椎体的侧面图形为相似图形。

综上所述，本实用新型使用一种新的量测工具，能够准确实时读出高度，为高度调整提供直观的位置参照，提高工作效率和质量。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用新型范围的限制。

图1是本实用新型结构俯视图；

图2是本实用新型结构正视图；

图3是本实用新型量测示意图；

图4是本实用新型结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的技术方案及优点更加易于理解，下面结合附图作进一步详细说明。应当说明，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型的核心思想是：通过直角三角形的特殊性质，利用水平移动的距离算出高度，得到准确的高度值。

如图1、图2、图3所示，本实用新型设计了一种量测工具，用来精确量测半导体设备的高度，该工具包括：

底板5，具有一水平表面，在该底板5上设置有若干与水平表面垂直的固定杆6；

第一直角三角形椎体1和第二直角三角形椎体2，第一直角三角椎体1的其中一直角面与底板5水平平面平行，并活动套设于在这些固定杆6上，以使得该第一直角三角形锥体能够沿着固定杆垂直于水平表面方向往复运动，且该第一直角三角形椎体1的斜面与第二直角三角形椎体2的斜面贴合。该第二直角三角形锥体2分别有第一直角面和第二直角面，第二直角三角形锥体2的第一直角面贴合底板5的上表面放置；

垂直挡板4，该垂直挡板4固定在底板5上，而且第二直角三角形锥体2的第二直角面与该挡板4的表面贴合；

设有刻度的拉杆3，该拉杆3固定在第二直角三角形锥体2的第二直角面上并贯穿垂直挡板4，用来测量第二直角三角形椎体运动的距离。