[实用新型]光纤束引导激光浸入式局域场烧蚀装置

权利要求书

1.一种光纤束引导激光浸入式局域场烧蚀装置，包括激光源(1)和电池片载台(8)，其特征在于，所述电池片载台(8)设于封闭水箱(5)中，所述激光源(1)和电池片载台(8)之间依次设有光纤准直器(2)和光纤分路器(3)，所述光纤分路器(3)固定在阵列型光纤固定架(4)上，所述阵列型光纤固定架(4)位于封闭水箱(5)上，所述阵列型光纤固定架(4)和封闭水箱(5)之间设有供光纤穿入的贯穿孔洞。

2.如权利要求1所述的光纤束引导激光浸入式局域场烧蚀装置，其特征在于，所述激光源(1)固定在设备支架(10)上并位于封闭水箱(5)的正上方，所述激光源(1)的波长范围为370～1650nm，输出功率为20～2000W。

3.如权利要求1所述的光纤束引导激光浸入式局域场烧蚀装置，其特征在于，所述光纤准直器(2)的光束直径为1～5mm。

4.如权利要求1所述的光纤束引导激光浸入式局域场烧蚀装置，其特征在于，所述光纤分路器(3)的前端输入光纤数为1，后端输出光纤束的数目为100。

5.如权利要求1所述的光纤束引导激光浸入式局域场烧蚀装置，其特征在于，所述阵列型光纤固定架(4)上贯穿孔洞之间的间隙为100～3000μm，所述光纤分路器(3)的后端输出光纤与电池片载台(8)上的电池片距离为0.5～3mm。

6.如权利要求1所述的光纤束引导激光浸入式局域场烧蚀装置，其特征在于，所述封闭水箱(5)为封闭的压力水箱，所述封闭水箱(5)中设有去离子水、弱酸性或弱碱性水溶液，所述封闭水箱(5)的一端设有进液口(6)，另一端设有出液口(7)。