[实用新型]一种坩埚加热器

说明书

技术领域

本实用新型涉及坩埚领域，特别涉及一种坩埚加热器。

背景技术

中国专利（CN103557704A）公开了一种坩埚加热设备，包括坩埚、围绕在坩埚外部的金属筒、缠绕在金属筒和坩埚之间的电热丝、用于测量坩埚内材料液位位置的测量单元以及控制器，电热丝包括沿纵向方向设置的至少两个分段，控制器分别控制各个分段的发热功率，从而将坩埚分为至少两个相应的温控区域。

通过设置多个电热丝的分段和相应的坩埚的温控区域，精确地控制坩埚每个位置上的温度，可以有效避免现有技术中无法解决的材料融化不均、突沸甚至是材料裂解等缺陷。

还揭示了在金属筒的第一端部处布置有金属覆盖件，在金属筒的第二端部处布置有金属层或绝热层。有效防止坩埚内的热量流失到周围环境中。

电热丝通电对坩埚进行加热，电热丝产生的热量难免会造成热量流失，通过设置金属覆盖件难免也会造成坩埚热量不均匀的情况，极易影响镀膜和资源浪费情况。

实用新型内容

本实用新型提供了一种坩埚加热器，克服了现有技术的困难，开创了一种节约能源的坩埚加热器。

本实用新型提供了一种坩埚加热器，包括：基板，基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源，所述坩埚固定装置、所述加热装置和所述不锈钢罩壳从内至外设置；

所述加热装置包括固定机构、加热片和空腔，所述空腔由所述加热片环绕形成的，所述加热片通过所述固定机构固定在所述基板上，所述加热片与所述电源电连接，所述坩埚固定装置位于所述空腔的底部；

所述坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆，所述固定座都通过所述连接杆固定在所述基板上；

所述固定座和所述基板之间还设置有至少两层隔热层。

优选地，所述基板的底部设置有支撑杆。

优选地，所述加热片包括第一加热片和第二加热片，所述空腔包括第一空腔和第二空腔，所述第一空腔由所述第一加热片环绕形成的，所述第二空腔由所述第二加热片环绕形成的，所述第一空腔和所述第二空腔从上至下设置，并且内部联通。

优选地，所述第二加热片的长度长于所述第一加热片的长度。

优选地，所述基板为不锈钢材料制成的基板，所述隔热层上设置有通孔。

优选地，所述空腔的横截面为圆形、方形或长方形。

优选地，所述隔热层为陶瓷材料制成的隔热层。

优选地，所述隔热层的数量为三层。

优选地，所述固定座的数量为四个，每个所述固定座上都设置有固定槽。

优选地，所述固定机构包括陶瓷片和竖杆，所述竖杆竖直设置在所述基板上，所述陶瓷片套设于所述加热片外，并固定在所述竖杆上。

优选地，还包括热电偶，所述空腔的两侧分别设置有所述热电偶，两所述热电偶都位于空腔的顶部，所述空腔的底部也设置有所述热电偶。

由于采用了上述技术，本实用新型的一种坩埚加热器与现有技术相比，本实用新型结构简单，新颖，有效节约能源；本实用新型改变了传统坩埚加热器的结构，由于坩埚加热器是固定在工作台面上的，通过设置至少两层隔热层有效防止坩埚加热装置温度过高，而造成工作台面的损害；设置不锈钢罩壳防止坩埚加热装置散热过快，有储热的作用，有效节约能源。

以下结合附图及实施例进一步说明本实用新型。

附图说明

图1为本实用新型所述坩埚加热器的结构示意图；

图2为本实用新型所述加热装置的主视图；

图3为图2的俯视图；

图4为图2的立体图；

图5为本使用新型所述坩埚固定装置的结构示意图。

附图标记

1         加热装置                   10         加热丝                    

2         不锈钢罩壳                 11         热电偶              

3         支撑杆                     12         第二加热片

4         基板                       13         第一加热片

5         隔热层                     14         固定机构

6         坩埚固定装置               15         固定槽