[实用新型]一种除尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及表面清洁技术领域，特别是涉及一种除尘装置。

背景技术

多种产品制造流程过程中需要用到清洁设备对配件进行表面清理以达到相应的使用要求。其中，在生产太阳能电池板时，需要使用表面除尘设备。

近年来，对应用除尘设备对太阳能电池板芯片表面清理过程中的清洁效率和收集回收准确性等方面的要求越来越高。因此，提高表面清理的清洁效率和收集回收准确性成为设计目标。

现有技术中，非晶硅太阳能电池片在制作过程中，经常会出现CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)镀膜后的芯片半成品表面粘附硅粉的情况。芯片半成品受光面的硅粉会造成后续工艺的激光刻线不断，降低产品的功率。而芯片半成品CVD膜面的硅粉则会造成后续工艺的芯片膜面针孔，影响产品的质量和功率。因此，芯片半成品受光面和膜面表面的高效除尘对提高芯片的质量和功率十分重要。为避免芯片半成品的CVD膜面容易刮伤，目前常通过吹吸高压流体的设备进行芯片表面清理，如图1所示，清理设备的高压流体吹吸结构部件设置于芯片表面上侧，高压流体自吹出口被吹出，自吸入口被吸入，高压流体的流动过程中，芯片表面的尘埃等杂质被高压流体吹起并被带入吸入口。出于对芯片表面吹吸清理的目的，吹出口与吸入口之间设置有相应的角度以便高压流体能够流经芯片表面位置，虽吹出口和吸入口所连通的管道连接有增压设备，例如气泵等以图控制流体的流动轨迹，而流体在持续被从吹出口吹出后，其流动与吹出口的推动力、惯性和吸入口的吸入能力等因素相关，特别是高压流体裹挟着芯片表面的杂质流动时，随着吹出口的持续推动力和惯性的因素，高压流体和杂质尘埃在吸入口位置被吸入一部分，另一部分流体和杂质因惯性等因素错过吸入口而无序地流至其他位置。由于上述原因，吸入口和吹出口各自的朝向之间设置有一定角度，高压流体和杂质尘埃流至吸入口边侧的其他位置后，其再次落至芯片表面后依然影响着芯片质量，或需要再次除尘处理。

上述除尘设备使用过程中的清洁效率低和收集回收准确性差等设计缺陷是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种除尘装置，通过本实用新型的应用将明显提高对太阳能电池板芯片表面的除尘清洁效率和收集回收准确性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于对太阳能电池板芯片进行除尘清洁的除尘装置，包括：用于排出第一路流体的主吹气机构、用于排出压力小于所述第一路流体压力的第二路流体的副吹气机构、用于吸收所述第一路流体和所述第二路流体的抽气机构以及设于所述主吹气机构和所述抽气机构之间的用于集尘的密闭罩板，所述抽气机构设于所述主吹气机构和所述副吹气机构之间，所述副吹气机构无间隙地紧邻于所述抽气机构，所述主吹气机构和所述副吹气机构对向设置以实现所述第一路流体与所述第二路流体对向流动。

优选地，还包括安装于所述主吹气机构上的长条形整流盖板，所述整流盖板上设有多个用于流出所述第一路流体的通孔，多个所述通孔中，设置在靠近所述整流盖板中间区域的所述通孔的截面积之和分别小于靠近所述整流盖板两端区域的所述通孔的截面积之和以实现所述第一路流体流出后具有向中间流动的趋势。

优选地，所述抽气机构和所述副吹气机构为一体结构设置，一体结构的抽气机构和副吹气机构能够调整角度地与所述密闭罩板连接。

优选地，一体结构的所述抽气机构和所述副吹气机构与所述密闭罩板之间的调整角度范围在130度至170度之间。

优选地，所述主吹气机构能够调整角度地与所述密闭罩板连接。

优选地，所述主吹气机构与所述密闭罩板之间的调整角度范围在130度至170度之间。