[实用新型]一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶片加工技术领域，尤其是一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置。

背景技术

现有技术中的晶片抛光机，大多采用将晶片固定在一个固定盘上，晶片表面凸出在固定盘盘面外，用打磨布对晶片的表面进行打磨，通常打磨布安装在一个平面圆盘上，通过圆盘转动其上的打磨布完成对晶片表面的打磨。由于研磨机长期研磨，在工作盘面板上积累有大量研磨后留下的尘垢和其他杂质，在对晶体片进行研磨之前，需要对工作盘面板进行清理，但是工作盘面板较大，人工清理不仅费时而且费力。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中的不足，提供一种能自动快捷的对工作面盘进行快捷的清洗的晶片研磨抛光机下工作盘清理装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置，包括研磨机研磨面板的内齿圈和外齿圈，所述内齿圈和外齿圈之间有游心轮，所述游心轮与内齿圈以及外齿圈相齿合；所述游心轮上均匀排布有毛刷。

进一步的，所述毛刷插套在游心轮上，所述游心轮上均匀排布有套孔，所述毛刷上有固定环，所述毛刷通过固定环插套在套孔中。

进一步的，所述毛刷与游心轮之间通过绳子固定，所述游心轮上有均匀排列有大小不同的两种孔，所述绳子穿过小孔将毛刷固定在大孔内。

进一步的，所述游心轮的数量为3-5个。

进一步的，所述毛刷采用猪鬃制成。

采用本实用新型的技术方案的有益技术效果是：研磨机研磨时时，游心轮在内齿圈和外齿圈的旋转作用下，带动游心轮绕着内齿圈的轴心转动，由于游心轮上均匀排布有毛刷，可以将工作盘上的尘垢和其他杂质清理干净。在研磨的同时可以进行清理操作，不需要人工清理，省时省力，效率高。

附图说明

图1为本实用新型的晶片研磨抛光机下工作盘清理装置的结构示意图；

图2为本实用新型中实施方式二中毛刷与游心轮的结构示意图；

图3为本实用新型中实施方式一中毛刷与游心轮的结构示意图；

图中，1为内齿圈，2为外齿圈，3为游心轮，4为毛刷，5为绳子，6为固定环，7为套孔。

具体实施方式

下面结合附图说明对本实用新型做进一步说明。

实施方式一

如图1所示，一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置，包括研磨机研磨面板的内齿圈1和外齿圈2，所述内齿圈1和外齿圈2之间有游心轮3，所述游心轮3与内齿圈1以及外齿圈2相齿合；所述游心轮3上均匀排布有毛刷4。

工作原理：研磨机研磨时时，游心轮3在内齿圈1和外齿圈2的旋转作用下，带动游心轮3绕着内齿圈1的轴心转动，由于游心轮3上均匀排布有毛刷4，可以将工作盘上的尘垢和其他杂质清理干净。在研磨的同时可以进行清理操作，不需要人工清理，省时省力，效率高。

所述游心轮3的数量为3-5个。将游心轮3的数量控制为3-5个，一方面可以节约成本，另方面可以更加快捷高效的将工作盘面的尘垢和其他杂质清理干净。

所述毛刷4采用猪鬃制成。采用猪鬃，毛刷4的使用时间长，使用效果好，成本低，不会对晶片表面造成伤害。

如图3所示，所述毛刷4插套在游心轮3上，所述游心轮3上均匀排布有套孔7，所述毛刷4上有固定环6，所述毛刷4通过固定环6插套在套孔7中。采用此结构，一方面可以将毛刷4稳定的固定在游心轮3上，另一方面，当部分毛刷4出现磨损时，更换更加方便，成本低。

实施方式二

实施方式二与实施方式一的区别在于：毛刷与游心轮的固定方式不一样，其余相同。

如图2所示，所述毛刷4与游心轮3之间通过绳子5固定，所述游心轮3上有均匀排列有大小不同的两种孔，所述绳子5穿过小孔将毛刷4固定在大孔内。采用此结构，可以将毛刷4稳定的固定在游心轮3上，提高了对工作盘面的清理效率。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求所界定的保护范围为准。