[实用新型]一种研磨液等均布输送的研磨机有效
申请号: | 201520095166.6 | 申请日: | 2015-02-11 |
公开(公告)号: | CN204725333U | 公开(公告)日: | 2015-10-28 |
发明(设计)人: | 章仁上 | 申请(专利权)人: | 德清晶生光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02 |
代理公司: | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人: | 董芙蓉 |
地址: | 313000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨 输送 研磨机 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种研磨机,特别是一种研磨液等均布输送的研磨机。
背景技术
现有的晶体片在研磨的过程中需要注入研磨液,研磨液对晶体片平面度和粗糙度都有很大的影响,转动研磨块在旋转过程中由于是一根输液管输入,导致研磨分散不均匀,不能够使研磨块之间得到充分降温,降低了成品率。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而设计的一种研磨液等均布输送的研磨机。
本实用新型所设计的一种研磨液等均布输送的研磨机,包括动力机头,传动轴,支架,研磨液输送支管,研磨液输送总管,转动研磨块,固定研磨块,液槽,控制柜,研磨液收集管,离心过滤器,过滤吸附机构,散热器,研磨液收集箱,电磁阀,研磨液增压泵和传感器,所述的动力机头与传动轴连接,所述的传动轴与转动研磨块连接,所述的固定研磨块固定在液槽内,所述的转动研磨块上设有多个均布的研磨液输送通道,所述的液槽下方设有研磨液收集管,所述的研磨液收集管与离心过滤器连接。
作为一种优先,所述的离心过滤器后设有过滤吸附机构。
作为一种优先,所述的过滤吸附机构为无纺布过滤机构。
作为一种优先,所述的研磨液输送总管与研磨液收集箱的下方连接。
作为一种优先,所述的研磨液输送总管上设有电磁阀。
作为一种优先,所述的研磨液输送总管上设有研磨液增压泵。
作为一种优先,所述的研磨液输送支管上设有传感器。
作为一种优先,所述的液槽固定安装在控制柜上。
作为一种优先,所述的散热器为管式散热器。
作为一种优先,所述的管式散热器的上方设有进液口,所述的管式散热器的下方设有出液口。
本实用新型中,通过研磨液等均布输送的研磨机的设置,研磨液输送管进行改装,将研磨液输送总管为分流成多个研磨液输送支管,将研磨液输送支管分别置于转动研磨块的多个方向,使研磨液就均布地流落到晶体上,从而使晶体片研磨效果更加好。
附图说明
图1是本实用新型的研磨液等均布输送的研磨机结构视图;
图2是本实用新型的研磨液等均布输送的研磨机散热器正视图;
图中:1、动力机头,2、传动轴,3、支架,4、研磨液输送支管,5、研磨液输送总管,6、转动研磨块,7、固定研磨块,8、液槽,9、控制柜,10、研磨液收集管,11、离心过滤器,12、过滤吸附机构,13、散热器,131、进液口,132、出液口,14、研磨液收集箱,15、电磁阀,16、研磨液增压泵,17、传感器。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。
实施例:
如图1,2所示,本实施例所描述的一种研磨液等均布输送的研磨机,包括动力机头1,传动轴2,支架3,研磨液输送支管4,研磨液输送总管5,转动研磨块6,固定研磨块7,液槽8,控制柜9,研磨液收集管10,离心过滤器11,过滤吸附机构12,散热器13,研磨液收集箱14,电磁阀15,研磨液增压泵16和传感器17,所述的动力机头1与传动轴2连接,所述的传动轴2与转动研磨块6连接,所述的固定研磨块7固定在液槽8内,所述的转动研磨块6上设有多个均布的研磨液输送通道,所述的液槽8下方设有研磨液收集管10,所述的研磨液收集管10与离心过滤器11连接。
进一步的,所述的离心过滤器11后设有过滤吸附机构12,所述的过滤吸附机构12为无纺布过滤机构。通过过滤吸附机构12的设置,使研磨液达到了二次过滤进一步减少了研磨液中的杂质。
进一步的,所述的研磨液输送总管5与研磨液收集箱14的下方连接。
进一步的,所述的研磨液输送总管5上设有电磁阀15,通过电子阀15的设置,保证了研磨液输送总管5对研磨液的输送。
进一步的,所述的研磨液输送总管5上设有研磨液增压泵16,通过研磨液增压泵16的设置,保证了研磨液输送总管5的压力,保证了研磨液输送总管5的正常输送研磨液。
进一步的,所述的研磨液输送支管4上设有传感器,通过传感器17的设置,防止了研磨机在无研磨液输送的情况下对晶体片进行研磨,造成晶体片的损坏。
进一步的,所述的液槽8固定安装在控制柜9上。
进一步的,所述的散热器13为管式散热器,通过管式散热器的设置,能够将研磨液收集管10内研磨液的温度降低,防止了研磨液温度过高导致晶体片损坏的现象。
进一步的,所述的管式散热器的上方设有进液口131,所述的管式散热器的下方设有出液口132。
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