[实用新型]用于无线通信系统的多层压电薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.用于无线通信系统的多层压电薄膜体声波谐振器，形成于衬底上，其特征是：包括底部电极、顶部电极、第三电极、第一压电层、第二压电层、第一导线、第二导线和第三导线；所述衬底蚀刻形成腔体，牺牲材料沉积在衬底上以填充腔体；所述底部电极形成于衬底上方，所述衬底上沉积钨、钼或铝图案化处理成型为一个多边形的底部电极；所述底部电极上沉积氮化铝压电材料以形成具有向上C轴取向的第一压电层；所述第三电极由沉积于第一压电层上的钨、钼或铝图案化处理后形成；所述第二压电层位于第三电极上方，第三电极上沉积有氧化锌压电材料以形成具有向上C轴取向的第二压电层；所述第一压电层的C轴取向和第二压电层的C轴取向相反；所述顶部电极位于第二压电层上方，第二电压层上沉积有钨、钼或铝以形成位于最上方的顶部电极；所述第一压电层、第三电极、第二压电层和顶部电极经图案化形成多层压电薄膜体声波谐振器；所述第一导线连接底部电极，第二导线连接顶部部电极，第三导线连接第三电极，第一导线和第二导线相互连接使底部电极和顶部相连通。

2.根据权利要求1所述的用于无线通信系统的多层压电薄膜体声波谐振器，其特征是：所述底部电极的厚度为1239nm，第一压电体层的厚度为1800nm，第三电极的厚度为1000nm，第二压电层的厚度为1432nm，顶部电极的厚度为1239nm；所述第一压电层和第二压电层之间的共振频率为350MHz。