[实用新型]一种非接触式样品表面轮廓测试装置

权利要求书

1.一种非接触式样品表面轮廓测试装置，其特征在于：激光位移传感器数据采集装置，三维精密平移台，X向精密平移台，Y向精密平移台，X向步进电机，Y向步进电机，平移台控制机，数据采集计算机，电机控制线路和数据传输线路，所述X向精密平移台设置在Y向精密平移台上，所述三维精密平移台设置在X向精密平移台一侧，所述三维精密平移台上设有载物台，所述载物台垂直朝向X向精密平移台，X向精密平移台上设有固定带，用于将样品固定在X向精密平移台上，所述激光位移传感器数据采集装置设置包括激光位移传感器和数据采集计算机，激光位移传感器和数据采集计算机通过数据传输线路实现数据传输，所述激光位移传感器设置在载物台上并朝向被固定带固定的样品上方，X向精密平移台在X向步进电机驱动下沿水平X轴运动， Y向精密平移台在Y向步进电机驱动下带动X向精密平移台沿水平Y轴运动，三维精密平移台通过X向、Y向和Z向调节按钮带动载物台及激光位移传感器实现三维运动。

2.根据权利要求1所述的一种非接触式样品表面轮廓测试装置，其特征在于：所述X向步进电机和Y向步进电机通过电机控制线路与平移台控制机电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种非接触式样品表面轮廓测试装置，其特征在于：所述三维精密平移台包括X向移动板、Y向移动板和Z向移动板，所述Y向移动板设置在X向移动板上，所述Z向移动板为L型Z向移动板，所述Z向移动板一面设置在Y向移动板上，所述Z向移动板另一面与所述载物台固定连接，X向移动板在X向调节按钮作用下并依次带动Y向移动板Z向移动板沿水平X轴移动，Y向移动板在Y向调节按钮作用下带动Z向移动板沿水平Y轴移动，Z向移动板在Z向调节按钮作用下沿竖直Z轴移动。