[实用新型]一种低气压等离子体增强渗氮的设备

权利要求书

1.一种低气压等离子体增强渗氮的设备，包括氮化炉腔体(14)，氮化炉盖(1)盖合于氮化炉腔体上部开口之上，其特征在于，所述氮化炉腔体底部安装有支撑平台(10)，支撑平台上放置工件(12)，支撑平台与工件偏压电源(7)负极相连，支撑平台与氮化炉腔体绝缘，偏压电源正极与氮化炉腔体相连；所述氮化炉腔体内壁上固定安装有热丝装置(5)，热丝装置的负极与热丝偏压电源(2)负极相连，热丝偏压电源正极与氮化炉腔体相连，热丝装置与氮化炉腔体绝缘；所述氮化炉腔体壁上安装有真空系统(6)，所述氮化炉腔体壁上还设置有腔室进气孔(11)。

2.根据权利要求1所述的一种低气压等离子体增强渗氮的设备，其特征在于，所述热丝装置采用热丝连接于直流电源两端电极之上，热丝装置的电路中设置有热丝装置开关(4)，所述热丝为直径0.5-1.5mm的钨、钼或钽丝。

3.根据权利要求1所述的一种低气压等离子体增强渗氮的设备，其特征在于，所述支撑平台与氮化炉腔体之间安装有支撑平台绝缘套(9)，所述热丝装置与氮化炉腔体之间安装有热丝装置绝缘套(3)。

4.根据权利要求1所述的一种低气压等离子体增强渗氮的设备，其特征在于，所述氮化炉腔体内壁上还安装有加热器(13)。