[发明专利]一种用于产生角向偏振光的装置及方法

权利要求书

1.一种用于产生角向偏振光的装置，包括激光器(1)和λ/4波片(3)，其特征在于：还包括圆形金属光栅镜(4)，所述圆形金属光栅镜(4)包括基底(9)和一组圆环栅线(8)，一组所述圆环栅线(8)同心设于基底(9)表面，所述λ/4波片(3)设置于激光器(1)出光口与圆形金属光栅镜(4)之间，所述λ/4波片(3)和圆形金属光栅镜(4)的中心位于激光器(1)的光轴线上；

所述圆形金属光栅镜(4)最中心的圆环栅线(8)的内径小于十倍激光波长。

2.如权利要求1所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述圆形金属光栅镜(4)的法线与光轴形成夹角，所述夹角在0°到5°之间。

3.如权利要求1述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：还包括扩束镜(2)，所述扩束镜(2)设置于激光器(1)和λ/4波片(3)之间。

4.如权利要求1述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：还包括镜夹(5)和压环(6)，所述圆形金属光栅镜(4)通过压环(6)固定在镜夹(5)内。

5.如权利要求4述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述镜夹(5)为阳极化的铝质材料，镜夹(5)内设有冷却通道(7)，所述冷却通道(7)内循环流动有冷却剂。

6.如权利要求1所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述圆环栅线(8)为金属材质，所述基底(9)为透光材质，所述圆环栅线(8)采用先镀膜，后刻蚀或先掩模，再镀膜，最后进行剥离的方式同心制作于基底(9)表面。

7.如权利要求6所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述圆形金属光栅镜(4)的光栅周期小于激光波长。

8.如权利要求1-7任意一条所述的用于产生角向偏振光的装置，其特征在于：所述圆形金属光栅镜(4)的光栅占空比为40％～60％。

9.一种基于如权利要求1所述的用于产生角向偏振光的装置产生角向偏振光的方法，其特征在于：利用激光器(1)输出线偏振光，所述线偏振光以偏振方向与λ/4波片(3)的主轴夹角为45°的方向正入射至λ/4波片(3)，经λ/4波片(3)转化为圆偏振光，所述圆偏振光经设有同心圆环栅线的圆形金属光栅镜(4)反射得到角向偏振光，所述圆偏振光的入射角在0°到5°之间。