[发明专利]一种硅原材料的清洗方法在审
| 申请号： | 201510822086.0 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105344641A | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 王晓伟 | 申请（专利权）人： | 王晓伟 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/12;B08B3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 原材料 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅原材料的清洗方法，其特征在于包括下述步骤：
(1)采用洗液对硅原材料表面进行擦拭；所述洗液的重量组成为：硅片清洗剂38-40％、余量为纯水；
(2)高压水枪冲洗9-15分钟；
(3)超声清洗；超声清洗温度为31-33℃，时间为25-30分钟。
2.根据权利要求1所述的一种硅原材料的清洗方法，其特征在于所述高压水枪的压力为8-12Kg。
3.根据权利要求1所述的一种硅原材料的清洗方法，其特征在于所述步骤(3)中超声清洗采用底震、前震和后震式三面超声清洗机。
4.根据权利要求1所述的一种硅原材料的清洗方法，其特征在于所述硅片清洗剂型号为MT-480。
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