[发明专利]一种超声微气泡带电性测量的装置

说明书

本发明公开了一种超声微气泡带电性测量的装置，包括微注射泵、第一超声换能器、第二超声换能器、第一超声发生器、第二超声发生器、第一声变幅杆、第二声变幅杆、发射板、反射板，微注射泵上设有针头，针头正对水槽之内；第一超声发生器电联接第一超声换能器，第一超声换能器通过第一声变幅杆与第一发射板相联，第一发射板正对水槽；反射板正对水槽且处于第一发射板的正对侧；第二超声发生器电联接第二超声换能器，第二超声换能器通过第二声变幅杆与第二发射板相联，第二发射板正对水槽。本发明超声微气泡带电性测量的装置结构简单、操作方法简单易行，测出气泡带电性对如何控制气泡以及如何控制湿法腐蚀具有重大意义。

技术领域

本发明属于多晶硅陷光微结构粒子泡加工技术领域，具体涉及一种超声微气泡带电性测量的装置。

背景技术

硅湿法腐蚀反应中实际上是离子反应，但是离子的运动是随机且不确定的，若不精确地控制溶液中反应离子的运动，就很难达到控制形貌的精确形成。

离子泡就能解决上述问题，当利用超声产生微气泡时，在通过相关手段改变微气泡带电特性，吸附反应离子。微气泡从宏观上可以看作微粒，利用超声驻波的原理控制微气泡在溶液中的位置，当微气泡破裂时，所携带的有效离子便释放出来，以此加强局部反应，使反应部分形成腐蚀坑。而现有文献并未记载上述技术，基于此，本发明提出了一种超声微气泡带电性测量的装置来确定微气泡所带电性，以确定电性的微气泡将更好地控制反应，以便更好的腐蚀。

发明内容

基于现有技术存在的问题，本发明公开了一种超声微气泡带电性测量的装置。

在硅湿法腐蚀反应中，离子泡的出现使反应得到了有效的控制。为确定离子泡表面所带电性，利用超声气泡发生装置产生气泡，可以看到气泡一直是向上运动的。由于气泡停留在水中的时间很短暂，若不能控制气泡的运动将很难对其带电性进行测量。而根据超声驻波悬浮的原理就能较好地解决这一问题，超声驻波悬浮原理即利用超声驻波产生的悬浮力使气泡悬浮在驻波声场的波腹处。最后通过添加外加电场,根据微气泡在电场中的运动方向就可以得出微气泡带电性。

本发明采取如下技术方案：一种超声微气泡带电性测量的装置，包括微注射泵、第一超声换能器、第二超声换能器、第一超声发生器、第二超声发生器、第一声变幅杆、第二声变幅杆、第一发射板、第二发射板、反射板，微注射泵上设有针头，针头正对水槽之内；第一超声发生器电联接第一超声换能器，第一超声换能器通过第一声变幅杆与第一发射板相联，第一发射板正对水槽；反射板正对水槽且处于第一发射板的正对侧；第二超声发生器电联接第二超声换能器，第二超声换能器通过第二声变幅杆与第二发射板相联，第二发射板正对水槽；所述的超声微气泡带电性测量的装置，设置CCD高速摄像机及卤素灯，CCD高速摄像机及卤素灯都正对水槽，且CCD高速摄像机与卤素灯处于相对的两侧。

所述的超声微气泡带电性测量的装置，CCD高速摄像机与一视频记录仪相联。

所述的超声微气泡带电性测量的装置，第一超声发生器、第二超声发生器接入220V交流电源。

所述的超声微气泡带电性测量的装置，第一超声换能器、第二超声换能器都安装于支架之上。

所述的超声微气泡带电性测量的装置，第一发射板接入直流电源的负极，反射板接入直流电源的正极。

所述的超声微气泡带电性测量的装置，反射板与一螺旋调节器相连，螺旋调节器安装于支架之上。

所述的超声微气泡带电性测量的装置，微注射泵与一微注射控制器电联接。

利用本发明超声微气泡带电性测量的装置操作步骤如下：

1、搭建超声微气泡发声装置，该装置由微注射控制器、微注射泵、针头、超声换能器、带孔超声变幅杆、超声发生器、卤素灯、视频记录仪、CCD高速摄像机、发射板、反射板、220V交流电源、螺旋调节器、支架等构成。