[发明专利]激光振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过放电管激励激光气体来使激光振荡的激光振荡器。

背景技术

一般来讲，模次数越低次化则从激光振荡器输出的激光光束的质量(聚 光性)越高。公知一种考虑这一点来抑制高次模的激光振荡、以低次模进行 激光振荡的激光振荡器(例如参照日本专利第3313623号公报、日本特开 2013-247260号公报、日本特开2009-94161号公报)。在日本专利第3313623 号公报、日本特开2013-247260号公报、日本特开2009-94161号公报等中记 载的激光振荡器中，在输出镜与后镜之间配置孔构件，通过孔构件来限制激 光的直径，由此抑制高次模的激光振荡。

然而，在日本专利第3313623号公报、日本特开2013-247260号公报、日 本特开2009-94161号公报等记载的激光振荡器由于具有孔构件，因此存在如 下问题：不仅结构变得复杂，而且孔构件吸收激光而导致激光输出下降。对 此，公知一种在输出镜或后镜的表面实施反射率不同的两种涂覆来只使低次 模的激光进行振荡的激光振荡器(例如参照日本特开平2-166778号公报)。在 日本特开平2-166778号公报所记载的激光振荡器中，在输出镜的径向中心部 实施半透过膜的涂覆，在其周边部实施无反射膜的涂覆。或者，在后镜的径 向中心部实施全反射涂覆，在其周边部实施无反射涂覆。

然而，在日本特开平2-166778号公报所记载的激光振荡器中，由于在输 出镜或后镜的表面实施反射率不同的两种涂覆，因此制造工序变得复杂。

发明内容

根据本发明的第一方式，提供如下一种激光振荡器：具备：放电管，其 具有用于激励激光气体的放电空间；以及分别配置在放电管的两侧的输出镜 和后镜，在该激光振荡器中，输出镜和后镜由对激光的反射率分别为第一反 射率和第二反射率的材料构成，在输出镜的面对放电空间的表面上，在放电 管的内径的90％以上且100％以下的第一圆的内侧涂布有具有比第一反射率 高的反射率的第一涂覆材料，另一方面在第一圆的外侧未涂布涂覆材料，在 后镜的面对放电空间的表面上，在放电管的内径的90％以上且100％以下的第 二圆的内侧涂布有具有比第二反射率高且比第一涂覆材料的反射率高的反 射率的第二涂覆材料，另一方面在第二圆的外侧未涂布涂覆材料。

根据本发明的第二方式，提供如下一种激光振荡器：在第一方式的激光 振荡器中，输出镜的构成材料为硒化锌。

根据本发明的第三方式，提供如下一种激光振荡器：在第一方式或第二 方式的激光振荡器中，后镜的构成材料为锗单晶或者砷化镓。

根据本发明的第四方式，提供如下一种激光振荡器：在第一方式至第三 方式中的任一方式的激光振荡器中，第一圆的直径与第二圆的直径彼此相 等。

根据本发明的第五方式，提供如下一种激光振荡器：在第一方式至第四 方式中的任一方式的激光振荡器中，在输出镜的与放电空间相反的一侧的表 面上涂布有与第一涂覆材料相同的直径的反射防止涂覆材料，该反射防止涂 覆材料的反射率比第一反射率低。

由附图所表示的本发明的代表性的实施方式的详细说明，可更明确本发 明的这些目的、特征及优点以及其它目的、特征及优点。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的激光振荡器的整体结构的图。

图2是图1的输出镜的第一面的主视图。

图3是图1的后镜的第一面的主视图。

图4是构成作为本发明的变形例的激光振荡器的输出镜的主要部分截面 图。

具体实施方式

下面参照图1～图4来说明基于本发明的激光振荡器100的实施方式。图1 是表示本发明的实施方式所涉及的激光振荡器100的整体结构的图。本实施 方式所涉及的激光振荡器100是以激光气体为介质来通过放电管激励激光气 体的高输出二氧化碳气体激光振荡器。

如图1所示，激光振荡器100具有：用于激光气体循环的气体流路1；与 气体流路1连通的放电管2；隔着放电管2配置在放电管2的两侧的输出镜3和 后镜4；对放电管2的电极5、6施加电压(放电管电压)的电源部7；检测激光输 出的传感器8；冷却激光气体的热交换器9、10；以及使激光气体沿气体流路 1如箭头所示那样循环的送风机11。