[发明专利]一种获得X射线点光源的设备及方法

权利要求书

1.一种获得X射线点光源的设备，包括连接在一起的脉冲功率装置(1)和真空腔体(5)，设置在所述真空腔体(5)内的阴极(2)、阳极(4)、靶片(6)，所述阴极(2)连接所述脉冲功率装置(1)，所述真空腔体(5)上设置有抽真空接口(8)和能够通过从所述靶片(6)发射的X射线的出射口(7)，与所述抽真空接口(8)连接的抽真空装置，其特征是：所述阳极(4)为中空结构，一根传输杆(3)穿过所述阳极(4)的中空部位，所述传输杆(3)一端连接所述阴极(2)，另一端靠近所述靶片(6)，以保证所述传输杆(3)传输的电子能够轰击所述靶片(6)。

2.如权利要求1所述的设备，其特征是：所述传输杆(3)采用高铅玻璃材料，所述传输杆(3)靠近所述靶片(6)的一端为尖锥形。

3.如权利要求2所述的设备，其特征是：所述传输杆(3)尖锥一端与所述靶片(6)中心之间的距离能够调整。

4.如权利要求3所述的设备，其特征是：所述距离为10-20mm。

5.如权利要求1-4任一项所述的设备，其特征是：所述传输杆(3)是能够更换的不同直径的传输杆。

6.如权利要求1所述的设备，其特征是：所述靶片(6)与所述传输杆(3)的轴向呈45°角设置。

7.如权利要求1所述的设备，其特征是：所述脉冲功率装置(1)和真空腔体(5)能够连接和分离。

8.如权利要求1所述的设备，其特征是：所述靶片(6)为钼片，所述抽真空装置为分子泵和机械泵。

9.一种采用权利要求1所述设备的获得X射线点光源的方法，包括如下步骤：

(S1)调整所述传输杆与所述靶片之间的距离；

(S2)启动抽真空装置对所述真空腔体进行抽真空操作；

(S3)启动所述脉冲功率装置，在所述阴极和阳极之间产生高电位差，引起阴极表面产生场致等离子体发射，从阴极发射电子并形成电子束；

(S4)阴极发射出的电子打在所述传输杆上，吸引电子束在传输杆表面出现过剩电子荷，引起电子束微聚；

(S5)微聚后的电子束依靠惯性，沿所述传输杆向传输杆的靠近靶片一端运行并轰击所述靶片，靶片受轰击处产生X射线并通过真空腔体上的出射口射出。

10.如权利要求9所述的方法，其特征是：所述脉冲功率装置(1)和真空腔体(5)能够连接和分离，所述传输杆(3)是能够更换的不同直径的传输杆；在步骤(S1)中还包括分离所述脉冲功率装置和真空腔体,将所述传输杆连接在所述阴极上；在步骤(S2)中还包括连接所述离脉冲功率装置和真空腔体。