[发明专利]平板状部件吸附装置

权利要求书

1.一种负压吸附平板状部件的平板状部件吸附装置，其特征在于，具有：

基底板，被安装在形成负压室的吸附装置本体上；以及

部件对面板，与所述平板状部件对面，并与所述基底板在平面上以密接的状态层叠，可相对于基底板被设定在基准位置以及从该基准位置进行滑动后的滑动位置上，

其中，在所述基底板上，多个吸附孔作为基底板侧吸附孔被设置，在所述部件对面板上，多个吸附孔作为部件对面板侧吸附孔被设置，

所述基底板侧吸附孔以预定的配置被设置在所述基底板上，

所述部件对面板侧吸附孔由复数个的基准吸附孔及追加吸附孔所构成，

所述复数个的基准吸附孔被设置为当所述部件对面板位于所述基准位置时，与所述基底板侧吸附孔中的全部的吸附孔或所述基底板侧吸附孔中的预定的吸附孔相对向，

所述追加吸附孔在所述部件对面板的预定区域中被设置在沿着该部件对面板的滑动方向相邻的基准吸附孔之间，

当所述部件对面板位于所述基准位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成基准吸附区域，

当所述部件对面板位于所述滑动位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成具有与所述基准吸附区域不同大小的特定吸附区域，

存在被设在所述相邻的基准吸附孔之间的所述追加吸附孔沿着所述滑动方向被设置n个(n为2以上的整数)的区域，在将该n个的追加吸附孔沿着滑动方向依次从第一段的追加吸附孔设置到第n段的追加吸附孔时，所述滑动位置可以设定为从所述第一段到所述第n段的n个阶段，通过在所述n个阶段的各个滑动位置上所述n个的追加吸附孔依次与所述基底板的基底板侧吸附孔相对向，从而在所述n个阶段的各个滑动位置上所述特定吸附区域被形成为各不相同的大小。

2.根据权利要求1所述的平板状部件吸附装置，其特征在于，还具有：

定位部，分别在当所述部件对面板位于所述基准位置时、及当所述部件对面板位于所述滑动位置时，将所述部件对面板定位在所述基准位置或所述滑动位置上。

3.根据权利要求2所述的平板状部件吸附装置，其特征在于：

其中，所述定位部具有：

基底板侧定位孔，被设置为贯通所述基底板；

复数个的部件对面板侧定位孔，被设置在所述部件对面板上，当所述部件对面板位于所述基准位置或所述滑动位置时，在该基准位置和该滑动位置上分别与所述基底板侧定位孔对向；以及

定位针，可插入所述基底板侧定位孔及与该基底板侧定位孔对向的所述部件对面板侧定位孔。

4.根据权利要求2所述的平板状部件吸附装置，其特征在于：

其中，所述定位部具有：

驱动装置，用于使得所述部件对面板进行所述滑动；以及

控制装置，控制该驱动装置，

通过由所述控制装置来控制所述驱动装置，将所述部件对面板定位在所述基准位置或所述滑动位置上。

5.根据权利要求1所述的平板状部件吸附装置，其特征在于：

其中，所述基准吸附孔和所述追加吸附孔在所述部件对面板上被设置为在所述基准吸附区域和所述特定吸附区域中的一部分的区域中，与所述基底板侧吸附孔对向的所述基准吸附孔和所述追加吸附孔的个数比该一部分的区域以外的区域更多。

6.根据权利要求5所述的平板状部件吸附装置，其特征在于：

其中，所述一部分的区域为与所述平板状部件的一侧的端部侧相对向的区域。

7.根据权利要求1所述的平板状部件吸附装置，其特征在于：

其中，所述平板状部件为片状部件。

8.根据权利要求7所述的平板状部件吸附装置，其特征在于：

其中，所述片状部件为覆盖薄膜。