[发明专利]接触燃烧式气体传感器

权利要求书

1.一种接触燃烧式气体传感器，该接触燃烧式气体传感器检测可燃性气体，其特征在于，

所述接触燃烧式气体传感器具备：

绝热部；

加热器，其形成在所述绝热部上；

气体反应膜，其在所述绝热部上形成在所述加热器上，并包括承载所述可燃性气体的燃烧催化剂的载体；

测温元件，其在所述绝热部上形成在所述气体反应膜附近；

均热部，其形成在所述绝热部上，并且配置在所述绝热部和所述气体反应膜之间，

所述均热部构成为使传递至所述均热部的热向所述均热部整体分散。

2.根据权利要求1所述的接触燃烧式气体传感器，其特征在于，

所述绝热部是设于基板自身的第一空洞部、形成在基板上的第二空洞部、埋入所述第一空洞部的多孔材料或树脂、形成在基板上的多孔膜或树脂膜、形成于基板自身的多孔部中的一个。

3.根据权利要求1或2所述的接触燃烧式气体传感器，其特征在于，

所述均热部具有分别形成的第一均热部和第二均热部，

所述加热器配置在所述第一均热部和所述第二均热部之间。

4.根据权利要求1或2所述的接触燃烧式气体传感器，其特征在于，

所述测温元件是利用由彼此不同的材料形成的第一热电元件和第二热电元件构成的热电对的温接点，

所述均热部由与所述第一热电元件相同的材料形成。

5.根据权利要求1或2所述的接触燃烧式气体传感器，其特征在于，

所述均热部由金属形成。

6.根据权利要求1或2所述的接触燃烧式气体传感器，其特征在于，

所述接触燃烧式气体传感器具备补偿部，该补偿部与具有所述加热器、所述气体反应膜、所述测温元件和所述均热部的气体检测部分别设置，

所述补偿部具有：补偿部加热器，其形成在所述绝热部上；参照膜，其在所述绝热部上形成在所述补偿部加热器上，并包括未承载所述可燃性气体的燃烧催化剂的载体；补偿部测温元件，其在所述绝热部上形成在所述参照膜附近；补偿部均热部，其形成在所述绝热部上，并配置在所述绝热部和所述参照膜之间，

所述补偿部均热部构成为使传递至所述补偿部均热部的热向所述补偿部均热部整体分散。