[发明专利]一种用于减薄机的转移吸盘在审
申请号: | 201510548246.7 | 申请日: | 2015-08-31 |
公开(公告)号: | CN105081971A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 曹丽萍;张万财;李明晨;范平;陆宝良 | 申请(专利权)人: | 平凉市老兵科技研发有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06;B24B41/00;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 744000 *** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 减薄机 转移 吸盘 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于减薄机的转移吸盘,其包括吸盘外壳(1)及镶嵌在吸盘外壳(1)内部的转移吸盘(2);其特征在于:所属吸盘外壳(1)与转移吸盘(2)形成了真空腔体(3),吸盘外壳(1)上设有与真空腔体(3)通透的真空进口(4),且其上还设有真空控制开关(5),片子脱离控制开关(7);所述的转移吸盘(2)上与吸盘外壳(1)相对的另一侧面设有磨削片子(6)。
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