[发明专利]一种隧道结悬臂梁含量测试仪

权利要求书

1.一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述测试仪为一种悬臂梁结构，在悬臂梁靠近固定端沿悬臂梁长度方向安装有一对或多对隧道结电极，每对隧道结电极的两金属电极的顶端相对，两金属电极顶端之间的距离为0.01纳米-100纳米，电极与悬臂梁绝缘。

2.根据权利要求1所述的一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述悬臂梁的截面为均匀截面，截面形状为三角形、圆形、椭圆形、卵形、规则或不规则多边形。

3.根据权利要求1所述的一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述悬臂梁的截面为不均匀截面，截面形状为三角形或梯形。

4.根据权利要求1所述的一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述两金属电极的顶端，一个顶端的尺寸为0.01纳米-100纳米的针尖形状或近似于针尖形状的多面体，另一个顶端的尺寸为0.01纳米-100纳米针尖形状或平整表面。

5.根据权利要求1所述的一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述金属电极的材料为铂金、钨、铱，或铂金、钨、铱制成的混合材料。

6.根据权利要求1所述的一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述两金属电极顶端及之间的空间为真空，或充满气体，或充满液体。

7.根据权利要求1所述的一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述悬臂梁材料为导电材料时，隧道结电极与悬臂梁之间设有绝缘材料隔离。

8.根据权利要求1所述的一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述悬臂梁材料为不导电材料时，隧道结电极直接安装在悬臂梁上。

9.根据权利要求1所述的一种隧道结悬臂梁含量测试仪，其特征是，所述悬臂梁上粘接、涂镀有待测质量的物体。