[发明专利]涂布装置及涂布器有效
申请号: | 201510487453.6 | 申请日: | 2015-08-10 |
公开(公告)号: | CN105080789B | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 王松;张瑞军 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 张少辉,刘华联 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 涂布器 | ||
技术领域
本发明涉及一种能够对待涂物的待涂表面进行均匀涂布的涂布器(另称喷嘴或涂布头),同时本发明还涉及一种包括了该涂布器的涂布装置。
背景技术
涂布器属于涂布装置的核心组成,主要用于将选定流体(例如油漆或光阻等)涂布在织物、纸张或板等待涂物的待涂表面上,使得选定流体在涂布表面上形成一种具有特定功能的薄膜。例如,在液晶显示装置技术领域中,涂布器可用于把光阻涂布在玻璃基板的平坦表面上,使得光阻在平坦表面上形成一层用于实施蚀刻技术的光阻层。
现有的涂布器包括暂存腔和用于导入选定流体的进入口,以及与暂存腔相连并对准着待涂表面的涂布缝。在工作过程中,选定流体通过进入口流入到暂存腔内,并促使暂存腔内的选定流体通过涂布缝流出到涂布器的外部。然而,由于涂布缝上的各个部位到进入口的距离不同,使得涂布缝上的各个部位所得到流体压力不同,导致选定流体在涂布缝上的各个部位的流速相差很大,最终造成现有的涂布器并不能对待涂物的待涂表面进行均匀的涂布。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提供了一种能够对待涂物的待涂表面进行均匀涂布的涂布器。同时本发明还提供了一种包括了该涂布器的涂布装置。
根据本发明的第一方面,提供了一种涂布器。该涂布器包括:暂存腔;用于把选定流体导入到暂存腔内的进入口;与暂存腔的相连通的涂布缝;以及设置在暂存腔内的活塞。其中,活塞构造成当其在暂存腔内移动时,能够使暂存腔内的选定流体通过涂布缝流出,并促使选定流体在涂布缝的任意位置上的流速趋近一致。
在一个实施中,涂布器还包括与暂存腔相连的排气口。
在一个实施中,进入口比排气口更靠近涂布缝。
在一个实施中,排气口设置成当活塞移动到远离涂布缝的最大位置时能够与活塞的靠近涂布缝的端面相对齐。
在一个实施中,上述涂布器还包括用于关闭或打开排气口的第一阀以及用于关闭或打开进入口的第二阀。
在一个实施中,活塞上的靠近涂布缝的端面与涂布缝的横截面相平行。
在一个实施中,涂布缝为平直的开口。
在一个实施中,暂存腔的横截面形状和涂布缝的横截面形状均为长方形,暂存腔包括恒定部和沿着纵向与恒定部相连的且宽度尺寸朝远离恒定部的方向逐渐收缩的收缩部,活塞设在恒定部内并能够沿着纵向进行滑动,涂布缝与收缩部的扁头端匹配接合,进入口与恒定部相连通。
根据本发明的第二方面,提供了一种涂布装置。该涂布装置包括根据本发明的第一方面的涂布器以及用于控制涂布器的活塞的促动机构,促动机构构造成能够推动活塞在涂布器的暂存腔内运动。当活塞在暂存腔内移动时,能够使暂存腔内的选定流体通过涂布缝流出,并促使选定流体在涂布缝的任意位置上的流速趋近一致,保证本发明的涂布装置能对待涂物的待涂表面进行均匀涂布,即涂布后所形成涂布层的厚度比较均匀。
在一个实施例中,促动机构包括动力源以及由动力源所驱动并能推动活塞的丝杠机构、曲柄连杆机构或齿轮齿条机构。
根据本发明的涂布器通过活塞的运动促使暂存腔内的选定流体通过涂布缝流出到涂布器的外部,并且能够促使选定流体在涂布缝上的各个部位的流速趋近一致,从而保证涂布器能对待涂物的待涂表面进行均匀的涂布。
根据本发明的涂布器的结构简单,加工容易,使用安全稳定,便于实施推广应用。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中:
图1为根据本发明的实施例的涂布器的立体图;
图2为根据本发明的实施例的涂布器的剖视图;以及
图3显示了包括图1或图2所示的涂布器的涂布装置。
在附图中相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
图1为根据本发明的实施例的涂布器,图2为根据本发明的实施例的涂布器的剖视图。如图1和图2所示,根据本发明的涂布器10包括形成有暂存腔6的本体4。本体4可由金属材料制成。本体4的外形构造或设置成不应影响涂布器10的正常工作。
在本实施例中,暂存腔6的横截面形状为长方形。暂存腔6包括长度和宽度尺寸都不变的恒定部6a和沿着纵向L与恒定部6a相连的且宽度尺寸朝远离恒定部6a的方向逐渐缩减的收缩部6b。
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