[发明专利]一种冷氢化含硅粉流体电加热器在审

专利信息
申请号: 201510421901.2 申请日: 2015-07-19
公开(公告)号: CN104949331A 公开(公告)日: 2015-09-30
发明(设计)人: 彭美锦;经文彪 申请(专利权)人: 江苏玺科电热装备有限公司
主分类号: F24H3/08 分类号: F24H3/08;F24H9/00;F24H9/18
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 任益
地址: 214112 江苏省无锡市无锡国家高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 氢化 含硅粉 流体 加热器
【说明书】:

技术领域

发明涉及电加热器的技术领域,特别涉及一种冷氢化含硅粉流体电加热器。

背景技术

现有的冷氢化四氯化硅电加热器采用电热管加热,气流中含有大量硅粉,在加热过程中硅粉沉积在电热管表面,形成热保护层,久而久之电热管内部的热传导不出来,内部温度越来越高,直至烧坏电热管。

发明内容

针对现有技术上存在的不足,本发明提供了一种冷氢化含硅粉流体加热电加热器,有效防止电热管表面形成保护层,保证了电热管内部的热传导效率,防止了电热管的烧坏,从而避免了整个加热器的损坏。

为了实现上述目的,本发明是通过如下的技术方案来实现:一种冷氢化含硅粉流体加热电加热器,其包括炉膛,炉膛内设置有盘管,所述盘管外周设置有电加热装置。

其进一步改进在于:炉膛包括上炉膛和下炉膛,上炉膛和所述下炉膛可拆卸连接;电加热装置为电热丝;炉膛内设置有多层盘管,多层盘管间连通形成一个进口、一个出口。

本发明的上述结构中,由于炉膛内设置有盘管,盘管外周设置有电加热装置,冷氢化含硅粉流体通入盘管中,通过盘管外侧的电加热装置加热,有效防止电热管表面形成保护层,避免了炉膛的损坏,从而避免了整个加热器的损坏。

附图说明

 图1为本发明冷氢化含硅粉流体加热电加热器主视图;

图2为图1的左视图;

图3为图1的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图来对本发明冷氢化含硅粉流体加热电加热器进行进一步说明:

见图1、图2和图3,一种冷氢化含硅粉流体电加热器,其包括炉膛1,炉膛1包括上炉膛1a和下炉膛1b,炉膛内1设置有三层盘管2,三层盘管间连通形成一个进口3、一个出口4,三层盘管2外周设置有电加丝5,含硅粉四氯化硅或氢气等流体走盘管2管程,外面布置壳程热场,有效防止硅在电热管表面形成保护层,避免了炉膛的损坏,从而避免了整个加热器的损坏,膛包括上炉膛和下炉膛,使得热场分上下两层,可方便拆开,对盘管进行更换。

炉膛1外周设置有保温层6,防止热量外泄,提高了加热效率。

炉膛1内设置有热电偶7,实现对炉膛内温度的测量。

上述实施例中,电热丝的安装方式有多种,可以设置在盘管外周,也可以分层布置,只要实现对盘管内冷氢化含硅粉流体的加热都是本发明的保护范围。

盘管的层数也可以根据炉膛的空间大小来设置。

硅粉沉积在盘管内,一段时间后,如炉膛温度升高明显,表示硅粉厚度已严重阻碍热传导,打开炉膛上半部分,将该段盘管取出更换,进行清理后放入或备用。

硅粉沉积在盘管内,判断沉积厚度靠炉膛温度,操作方便,炉膛加热部分不受影响,寿命长,又以较低的成本解决了冷氢化含硅粉流体加热问题。

由于该发明采用了靠炉膛温度判断是否该清理硅粉,炉膛不受影响,以较低的成本取得冷氢化含硅粉流体加热问题。

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