[发明专利]一种磁性高精度微位移平台及其使用方法

权利要求书

1.一种磁性高精度微位移平台，包括有支撑平台和设置在所述支撑平台上的位移装置，其特征在于，所述支撑平台上设置有第一位移件，所述第一位移件与所述位移装置连接，所述位移装置带动所述第一位移件沿所述支撑平台运动，所述第一位移件具有一相对于其位移方向倾斜的斜面，所述第一位移件的斜面上滑动设置有第二位移件，所述第一位移件与第二位移件之间贴紧配合，所述支撑平台上还设置有约束装置，所述约束装置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的运动，使得当第一位移件被所述位移装置带动而产生位移时，所述第二位移件被所述第一位移件带动而产生位移，所述第二位移件的位移方向与所述第一位移件的位移方向相垂直。

2.如权利要求1所述的磁性高精度微位移平台，其特征在于，所述第一位移件的斜面与其位移方向的夹角为A度，0＞A＞45。

3.如权利要求1所述的磁性高精度微位移平台，其特征在于，所述位移装置为压电陶瓷型位移装置。

4.如权利要求1-3任意一项所述的磁性高精度微位移平台，其特征在于，所述第一位移件与所述支撑平台之间还设置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件与所述磁性件为异性相吸状态。

5.如权利要求3所述的磁性高精度微位移平台，其特征在于，所述磁性件与所述支撑平台为一体式结构。

6.一种如权利要求1-5任意一项所述的磁性高精度微位移平台的使用方法，其特征在于，包括下述步骤：

步骤一：通过约束装置限制所述第二位移件沿第一位移件位移方向上的运动；

步骤二：将需要实现微位移的物体设置在第二位移件上，并通过所需微小位移的数值计算出第一位移件所需提供的位移值；

步骤三：控制位移装置带动第一位移件运动，使第一位移件得到步骤二中计算得到的第一位移件所需提供的位移值，使第二位移件得到所需的微小位移。