[发明专利]飞秒激光扫描功率调控装置和方法、飞秒激光加工系统

权利要求书

1.一种飞秒激光扫描功率调控装置，包括：

激光调制器，构造成对来自激光源的激光进行调制；

脉冲宽度调制信号生成器，构造成向激光调制器提供具有占空比的脉冲宽度调制信号；和

控制器，构造成与脉冲宽度调制信号生成器通信，以向所述脉冲宽度调制信号生成器提供所述占空比，其中所述占空比为当前激光扫描线速度与最大激光扫描线速度的比值。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光扫描功率调控装置，其中：

脉冲宽度调制信号的周期与当前激光扫描线速度的乘积不高于扫描线条的最小线宽。

3.根据权利要求1所述的飞秒激光扫描功率调控装置，其中：

所述激光调制器为声光调制器；

所述声光调制器通过光阑选择通过声光调制器调制的一级衍射光，遮挡零级光及其它级次衍射光进行脉冲选择。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的飞秒激光扫描功率调控装置，还包括：

单脉冲能量调节器，构造成对来自激光源的激光的所有激光脉冲的单脉冲能量进行整体调控，使激光的脉冲能量满足材料的加工阈值，经单脉冲能量调节器后的激光进入所述激光调制器。

5.一种飞秒激光扫描功率调控方法，包括以下步骤：

提供激光调制器，激光调制器构造成对来自激光源的激光进行调制；和

脉冲宽度调制信号生成器向激光调制器提供具有占空比的脉冲宽度调制信号，所述占空比为当前激光扫描线速度与最大激光扫描线速度的比值。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括步骤：

单脉冲能量调节器对来自激光源的激光的所有激光脉冲的单脉冲能量进行整体调控，使激光的脉冲能量满足材料的加工阈值，

其中，经单脉冲能量调节器后的激光进入所述激光调制器。

7.根据权利要求5所述的方法，还包括步骤：

选择脉冲宽度调制信号的周期，使得脉冲宽度调制信号的周期与当前激光扫描线速度的乘积不高于扫描线条的最小线宽。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的方法，其中：

激光扫描采用回转扫描方式；

在当前回转扫描半径r小于v/ω_max的情况下以ω_max进行恒角速度扫描，其中ω_max为设定最高转速，且当前回转扫描半径r所对应的线速度r×ω_max与所述最大激光扫描线速度的比值作为所述占空比。

9.一种飞秒激光加工系统，包括：

激光源；

移动台，加工件放置在所述移动台上；和

根据权利要求1-4中任一项所述的激光扫描功率调控装置。